天津大学-竞价公告(CB100562019000332)
天津大学-竞价公告(CB100562019000332)
基本信息: | |
申购单主题: | CVD系统 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2019-05-20 16:11 |
竞价结束时间: | 2019-05-22 15:55 我要报价 |
申购备注: | 19gz000588 |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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CVD系统 | 1 | 套 | 合肥科晶 | OTF-1200X-III CVD温区分布:152.4mm+152.4mm+304.8mm | 是 | 按行业标准提供服务 | 1,总温区长度600mm(152.4mm+152.4mm+304.8mm ).三个温区都有独立的温控系统。 2,恒温区长度:220 mm。 3,最高工作: 1200°C、连续工作温度: 1100°C、最大升温速率: 20°C/min。 4,采用高纯氧化铝作为炉膛材料,其表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层,可以提高加热效率(10%),延长仪器使用寿命。 5,可开启式立式管式炉,采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1度。 6,量程:100sccm、200sccm、200sccm、500sccm流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。工作压强:3×106Pa、最大输出功率:23W、精度:±1.5%FS、线性:±(0.5~1.5)%F.S.、重复精度:±0.2%F.S.、响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec、工作压差范围:0.1~0.5 MPa、气体混料罐:Φ80×120mm。 7,600mm x 600m的移动壳体顶部可以承受600 Lbs. 8,分子泵控制面板: LCD 数字显示,极限压力:<1E-7 mbar (配和本公司管式炉使用可达到1E-5mbar )。 窗体顶端: 9,外壳及冷阱内胆全部采用304不锈钢制作并且都做了抛光处理,耐用而且易清理。 窗体底端,真空度:5*10^-4 torr,内部冷却剂容器:160mm I.D * 195毫米深度(6 1/4”* 7 1/2”)。 | 无 |
标签: 大学
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