哈尔滨工业大学三靶磁控溅射沉积系统采购项目（GDC-****************2）网上竞价公告

公告日期： 2010-12-15 20:08:22
项目名称： 哈尔滨工业大学三靶磁控溅射沉积系统采购项目
项目编号： GDC-****************2
中央国家机关政府采购中心受采购单位 哈尔滨工业大学 委托,
对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上投标。

采购项目信息

开始日期： 2010-12-09 20:08:22 采购单位： 哈尔滨工业大学
截止日期： 2010-12-15 20:08:22 联系人： 张立
送货地点： 哈尔滨市南岗区西大直街92号 联系电话： ********
到货时间：

采购结果公告后 30 天内 联系邮件： zhangl@hit.edu.cn
剩余时间： 5天10小时
备注信息：
资质要求： 具有在中华人民共和国境内依法登记注册的独立法人资格。请供应商在“规格型号”一栏中务必填写所投产品全称。合同一式六份。
需求附件： ********152*****241.doc

采购商品列表

商品分类 参考品牌 规格型号 单位 数量 基本描述
实验室设备 套 1



采购需求：（可添加附页）
一、系统的主要组成及技术指标
极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成；
1、溅射真空室组件 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2、RF63法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3、RF10法兰接口：3个（2路进气管路、放气阀）；
1.4、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.5、CF100法兰接口：3个（磁控溅射靶接口）
1.6、CF35法兰接口：6个(接电离规管、旁抽口、陶封引线2个、备用2个)；
1.7、CF25法兰接口：1个（基片挡板）；
1.8、CF16法兰接口：1个（备用）；
1.9、ZC16法兰接口：1个(接ZC16热偶规管)；
2、磁控溅射靶组件 3套
2.1、靶材尺寸：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）；
2.2、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；
2.3、电动控制挡板组件：1套；
2.4、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5、三个靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。

3、单基片水冷加热台组件 1套
3.1、基片尺寸：可放置30mm基片；
3.2、基片加热最高温度 600°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3、取下加热炉可以换上水冷基片台；
3.4、基片可连续回转，转速5～10转/分；
3.5、基片可以加负偏压-200V；
3.6、手动控制样品挡板组件：1套；
3.7、样品托：2个；
4、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、RF100玻璃窗口：1块；RF63玻璃窗口：1块；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰CF16：1个；CF35：2个；
5、工作气路 1套
5.1、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共2路
5.2、DG16角阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
6、抽气机组及阀门、管道 1套
6.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒，北京）；
6.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，上海）；
6.3、KF40电磁隔断放气阀：1台（上海）；
6.4、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；
6.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、电磁截止阀及角阀门：1套 ；
6.6、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
7、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；
8、真空测量及电控系统 1套
8.1、电源机柜：1台；
8.2、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机、真空计等提供电源，有断电保护功能）；
8.3、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；
8.4、样品加热控温电源：1套（日本产控温表，可实现程序控温）；
8.5、步进电机旋转电源：1套；
8.6、靶挡板电源：3套；
8.7、加热烘烤及照明电源：1套；
8.8、宽量程数显真空计（成都）：1套；
热偶规：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
电离规：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）；
8.9、200SCCM、100SCCM质量流量显示器：1套；
8.10、分子泵控制电源：1套；
8.11、500W射频电源：1套；（沈阳）
8.12、500W直流电源：2套；
8.13、-200V直流偏压电源：1套；
9、配件 1套
9.1、￠6mm不锈钢管：6m；
9.2、电动升降装置：1套；
10、备件 1套
10.1、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个；CF35：3个； CF100：2个；CF150：2个；
￠6mm卡套：4套；
10.2、氟橡胶密封圈：￠100mm：1个；￠63mm：1个、动密封胶圈3个；
10.3、碘钨灯：5个；
10.4、样品加热丝：1套；
10.5、￠100mm玻璃：1块；￠63mm玻璃：1块；
10.6、小型不锈钢标件：M3、M4各3个；
10.7、冷水机（北京）：RF300A，1套；
11、计算机控制系统 1套
由品牌计算机、硬件卡、软件组成；
控制的内容主要有靶挡板、样品自转、样品挡板、样品控温等；
12、基片加热公转台组件 1套
拆下单基片水冷加热台可以换上该转台
1、基片尺寸：可放置30mm基片；同时可以安放6片；
2、六个工位中，其中一个工位安装加热炉，其余工位为自然冷却基片台；
3、基片加热最高温度 600°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
4、基片转盘只能0～360°回转；当拆掉加热炉电极和热电偶后，可连续回转；
5、基片转盘由步进电机驱动，可计算机控制公转工位及镀膜过程；
6、基片可以加负偏压-200V；
7、电动控制基片CF25挡板组件：1套；
技术联系人关新春Tel: ******** Mobile: 130*****130供货时间
50
天
采购申请人关新春Tel: ******** Mobile:130*****130
院(系)意见
（签字盖章）

项目主管部门审批意见
财务处审批意见预算内： 事业费□；“211”□；“985”□； 重点学科□；纵向科研□ 其他 □
固定资产投资专项 （科技创新平台□ 安全改造□ 创新基地□ 国防学科□）
预算外：横向科研□
国 资 处
审批意见

年 月 日