需求公示[2019]0806哈尔滨商业大学_TSV600-PECVD型原子层薄膜沉积系统
需求公示[2019]0806哈尔滨商业大学_TSV600-PECVD型原子层薄膜沉积系统
| 序号 | 商品名称 | 目录名称 | 数量/单位 | 单价(元)) | 总价(元)) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | TSV600-PECVD型原子层薄膜沉积系统 | 真空应用设备 | 1/台 | 280000 | 280000 |
| 序号 | 状态 | 评审内容 | 投标要求 |
|---|---|---|---|
| 1 | 新增 | 相关要求 | 1.必须具备《政府采购法》第二十二条规定的条件2.本项目拒绝联合体投标。 3.交货时间:合同签订后30日历日内 4.交货地点:指定地点5投标有效期:90天 |
| 序号 | 状态 | 分值 | 招标文件商务要求 | 评审标准 | 评审选项 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 新增 | 20 | 详见招标文件 | 无 | 无(0分) |
| 品目 | 序号 | 状态 | 配置 | 招标文件技术参数要求 | 加减分标准 | 评审选项 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TSV600-PECVD型原子层薄膜沉积系统 | 1 | 新增 | 参数1 | 不锈钢炉体，前开门结构。炉腔尺寸： 300 mm宽X300mm高×500mm长，内部有效使用空间：250（宽）×250（高）×350（长） | 正偏离(0分) | 负偏离 基本满足要求 得基础分(0分) 正偏离 正偏离(+0分) |
| 2 | 新增 | 参数2 | 工作真空：大气至2×10－3Pa＜40分钟。极限真空度：5×10-4Pa（空载加温200度3小时后） | 正偏离(0分) | 负偏离 基本满足要求 得基础分(0分) 正偏离 正偏离(+0分) | |
| 3 | 新增 | 参数3 | 2组流量计充气系统, 2组针阀充气系统一套柔性材料收放卷系统 | 正偏离(0分) | 负偏离 基本满足要求 得基础分(0分) 正偏离 正偏离(+0分) | |
| 4 | 新增 | 参数4 | 一组加热烘烤控温系统，最高烘烤温度200℃，100-200℃温度可调可控。温度均与性：±1℃（117℃） | 正偏离(0分) | 负偏离 基本满足要求 得基础分(0分) 正偏离 正偏离(+0分) | |
| 5 | 新增 | 参数5 | 一套射频PECVD等离子低温原子层沉积PLC触摸屏控制系统 | 正偏离(0分) | 负偏离 基本满足要求 得基础分(0分) 正偏离 正偏离(+0分) |
| 序号 | 供应商 | 提问时间 | 提问内容 | 回复内容 |
|---|
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