哈尔滨工业大学高真空热蒸发仪（电阻蒸发镀膜机）采购项目（GDC-****************1）网上竞价公告

公告日期： 2010-12-14 19:33:04
项目名称： 哈尔滨工业大学高真空热蒸发仪（电阻蒸发镀膜机）采购项目
项目编号： GDC-****************1
中央国家机关政府采购中心受采购单位 哈尔滨工业大学 委托,
对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上投标。

采购项目信息

开始日期： 2010-12-09 19:33:04 采购单位： 哈尔滨工业大学
截止日期： 2010-12-14 19:33:04 联系人： 苏彤彤
送货地点： 哈尔滨市南岗区西大直街92号 联系电话： ****-********
到货时间：

采购结果公告后 50 天内 联系邮件： stt@hit.edu.cn
剩余时间： 停止投标
备注信息： *
资质要求： *
需求附件： 没有附件

采购商品列表

商品分类 参考品牌 规格型号 单位 数量 基本描述
实验室设备 * * 台 1


商品名称： 实验室设备
参考品牌： *
参考模型： *
商品产地： 中国
数量： 1
单位： 台
服务： *
备注： 1）极限真空达10-5Pa，工作状态达10-4Pa，真空室为专业不锈钢腔室。 2) 三组钽舟（或钨舟）金属（有机分子）蒸发源，2kW蒸发电源3台。 3）基片台可旋转，可加热,带负偏压装置，可实现等离子清洗基片,循环水冷装置。具体技术性能指标 1)单室立式圆柱形结构的高真空多功能蒸发镀膜设备（内腔体积大致为Φ400mm×400mm），可用于制备单层及多层功能膜，可分蒸或共蒸。 2)系统构成：蒸发腔室、三对蒸发电极（电极尺寸Φ12×200mm）、3台稳流电源、真空获得系统（使用一套620升/秒分子泵系统）、真空测量系统、基片旋转系统、电控系统、气路系统等组成。 3)基片均匀区尺寸：120mm×120mm 4)样品台：磁流体密封：运转灵活，密封性能良好，悬浮设计，可加高压清洗电源—轰击清洗高压轰击装置; 一次放进4片（20mm×30mm）样品。样品台可在制膜室内由电机驱动圆周运动，运动速度2～20RPM可调，保证制膜均匀,室内有照明系统。 5)冷却系统（含1P制冷量的冷却水循环系统），各种控制、报警系统，各种备件齐备，密封圈等易损备件保证足够,逻辑手动控制及保护功能。