CVD设备增设对应特气系统追加招标公告
加 入 日 期： 2010-11-27
招 标 编 号： 0730-1040GD04G003/06
所 属 行 业： 电子通信
截 止 日 期： 2010-12-17
招 标 机 构： 中航技国际经贸发展有限公司
地 区： 上海市
项目名称：CVD设备增设对应特气系统追加
日期：2010年11月27日
招标编号：0730-1040GD04G003/06
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2010年11月27日公告。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
04G003/01
测量和控制单元
主要系统应包括计算机、显示器、控制器及电源装置
系统尺寸：大约W2700*L3000*H2700 重量约7吨包括一个控制塔

04G003/02
气体处理流量要求
SiH4：60slm以上
NH3：200slm以上
PH3：75slm以上
NF3：100slm以上
H2：120slm以上
Ar：36slm以上
N2：1260slm以上

04G003/03
缺陷侦测
FPI-6590F 在X/Y运动的台面上扫描基板，从而获得基板上的TFT 像素图像进行模数转换等图像分析. 进而发现缺陷并且报告给用户.
04G003/04
改造硬件要求
测定电极变更为高感度PH检出电极。
拆除多余的一个试药部，一个滴定Pump。
样品采样器更新。
乙二醇气缸更新。

软件要求
具备自诊断机能。

具备药液添加的记录功能。

04G003/05
X – Y 台面：
台面：Gantry 架构
线性光学尺的应用，可提供精准的位置（X and Y）回馈
在软硬件控制下，X和Y轴运动范围可控制在1750mm X 2100mm
校验后，台面精度+/- 10 um (最大范围)；重复精度：+/- 2 um
04G003/06
管外径≤12.7mm 的弯头可在现场使用专用弯管器煨制，弯头弯曲半径等于或大于管径的 10 倍(5 倍管外径），且变形率小于 5％。弯管加工困难的地方可用成品弯头；
管外径大于 12.7mm 的管道弯头应采用成品弯头。
当安装中断或结束时, 所有的系统都应充氩气保护，不得中断，其流量应保持 2-5L/min。
04G003/07
叉手长度： CVD用≥基板接触1300mm+延长部458.5mm+固定部180mm
AFM用≥基板接触1300mm+延长部338.5mm+固定部180mm
Array Check用≥基板接触1300mm+延长部458.5mm+固定部180mm
S/R 用LD≥基板接触1300mm+延长部458.5mm+固定部180mm
04G003/08
卡匣
卡匣尺寸：1160(W)mm×1350(D)mm×898(H)mm
卡匣容量：20片
第一片玻璃距卡匣底部:68mm
卡匣两侧支撑的间距: 1295mm
卡匣有背部支撑杆

2、招标文件售价：01-RMB 2000.00 Or USD 310.00 02-RMB 1000.00 Or USD 160.00 03-RMB 3000.00 Or USD 460.00 04-RMB 500.00 Or USD 80.00 05-RMB 1500.00 Or USD 230.00 06-RMB 2000.00 Or USD 310.00 07-RMB 3000.00 Or USD 460.00 08-RMB1000.00 Or USD160.00
3、购买招标文件时间：2010年11月27日至2010年12月17日 9时至16时 节假日除外
4、购买招标文件地点：北京市朝阳区慧忠路５号远大中心Ｂ座２０层
5、投标截止时间和开标时间：2010-12-17 10:00
6、开标地点：上海中航光电子有限公司
地 址：上海市闵行区长宁路3388号
邮编：201108
电子邮箱：ytx@catic-ted.com
电话： 0086-10-********
传真：0086-10-******** or ********
联系人：杨彤欣 先生
开户银行（人民币）：浦发银行北京亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐 号（人民币）：****************0
帐 号（美　元）： ********094014 SWIFT CODE：BKCHCNBJ