光刻机招标公告

招 标 正 文
 

光刻机招标公告


光刻机（JLU-KC19134）采购公告
项目名称光刻机项目编号JLU-KC19134
公告开始日期2019-06-17 09:43:36公告截止日期2019-06-20 11:00:00
采购单位吉林大学付款方式国产：货到验收合格办理相关手续后100%付款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30天到货时间要求国内合同签订后60天
预 算未公布
收货地址吉林大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

区域代理授权书(必选)


采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
光刻机1台电工器材

品牌鑫南光
型号G-25XA
技术参数及配置要求一、主要性能指标：
1.设备能真空吸附5" ×5"方形掩板,对版的厚度无特殊要求（1～3mm皆可）。
2.设备能适用于Φ100mm圆形基片（或100×100mm方形基片），基片厚度≤5mm,
3.照明：
光源：采用GCQ350Z型超高压水银直流汞灯。
照明范围：≤ф117mm
曝光面积：Φ100mm
在Φ100mm范围内,曝光不均匀性≤±3%，曝光强度：≥5mw/ cm2（此指标用紫外光源I线365nm测量）。
4.本设备采用进口时间继电器控制气动快门，动作准确、可靠。
5.本机为接触式曝光机，可实现：
a.硬接触曝光：用管道真空来获得高真空接触，真空≤-0.05MPa。
b.软接触曝光：接触压力可将真空降到-0.02MPa ～ -0.05MPa之间。
c.微力接触曝光：小于软接触，真空≥-0.02MPa。
6. 曝光分辩率：本设备硬接触曝光的分辨度可达2μm以上。
7.对准：观察系统为两个单筒显微镜上装二个CCD摄像头，通过视屏线连接到显视屏上。
a.单筒显微镜为1.6X～10X连续变倍显微镜。
b.CCD摄像机靶面对角线尺寸为：1/3，（6mm）;
c.采用19"液晶监视器，其数字放大倍率为19÷1/3=57倍；
d.观察系统放大倍数为：1.6×57≈91倍（最小倍数），10×57≈570倍（最大倍数)。
（1）对准台：（采用片动，版不动方式）
X、Y调整：±5mm。
（2）θ调整：转角≤5°
对准间隙（分离间隙）0～5mm任意可调。
整个对准台相对于显微镜可作±15mm扫描运动。
“接触、分离”20μm情况下，片相对于版的“漂移量”，可调到≤±0.5μm。
8.设备所需能源：
主机电源： 220V±10% 50HZ 1.5KW
洁净空气≥0.4MPα。
真空：-0.07～－0.08MPα。(设备自带无油型真空泵一台)
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后10小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、报价时必须上传生产厂家针对本项目的产品授权书和售后服务承诺书盖章扫描件。 2、中标后要求供应商持原厂家对项目产品授权书和厂家出具的售后服务承诺书原件备查。 3、明确保证其所供设备主机全新、正规来源设备。;

2019-06-17 09:43:36



联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

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