哈尔滨工业大学原子层沉积系统招标公告
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　　哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就原子层沉积系统项目进行公开招标。欢迎具有此项供货能力、资信良好的供应商前来投标。

　　一、项目名称：原子层沉积系统

　　二、招标编号：HITZB-543

　　三、采购数量：1套

　　四、主要技术指标：

　　1. 产品配置要求

　　1.1 原子层沉积系统1套，包括额外的源管路、操作软件等

　　1.2 技术要求：

　　(1) 热态原子层沉积设备

　　(2) 适应于标准的实验室环境条件，对实验室环境条件，如环境温度、湿度等，无特殊要求和限制，同时兼容100级超净室。

　　(3) 最大可以生长直径为8英寸（200mm）的样品基底。

　　(4) 系统相关操作由计算机控制，可以编辑、保存沉积配方文件。

　　(5) 为客户提供多种氧化物氮化物金属标准沉积工艺：

　　(6) 源料瓶在培训后客户能独立方便更换，以便将来科研要求更换别种材料。

　　(7) 腔体技术要求：

　　(a)基底最高加热温度450℃，控制误差在±1℃以内。

　　(b)适用于在最大为200mm直径的平面基底、三维结构的基底（高度小于6mm）和多孔材料基底上的薄膜制备要求。

　　(c)具有沉积高宽深比（>1:1000）功能的暴露沉积模式。

　　(d)包含有用于反应腔压力监控的压力传感器。

　　(8) 各种源管路部分技术要求：

　　(a) 包含一路常温源和3路加热源

　　(b) 除一路常温源外其他的源温度必须在室温到200摄氏度可控，控制误差在±1℃以内。

　　(c) 所有源瓶采用VCR标准接头连接，可以由经过培训的用户自行更换。

　　(d) 所有前驱体管路必须加热，在室温到200摄氏度可控，控制误差在±1℃以内。

　　(9) 系统应包括一个国外生产真空泵。

　　(10) 设备的电气控制系统应安全可靠，符合CE/CSA/FCC/EMC等标准。

　　(11) 薄膜厚度的均匀性：以Al2O3为例，在4英寸晶圆上沉积大约100nm，取5个不同点（上、下、左、右、中心）进行测试，其厚度标准偏差：≤1%。

　　2. 设备产地及供货期

　　2.1 设备及附件均为进口设备

　　2.2 供货期1个月

　　3. 售后服务

　　3.1 设备安装调试
仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后2周内执行安装调试直至达到验收指标。

　　3.2 技术培训
在用户现场进行必要的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。

　　3.3 保修期

　　提供1年以上的免费保修，保修期自验收签字之日起计算。

　　3.4 维修响应时间
应在24小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在三个工作日内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。

　　五、投标商准入资格

　　（1）具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件。

　　（2）具备中国政府采购法第二十二条的条件。

　　 （3）本次招标公告截止日期为2011年2月1日中午12点整,有意参与投标的供应商请将投标申请表及营业执照快递（传真）予我们，以便于有效安排开标事宜。

　　（4）如果报名情况符合开标条件，标书将在报名截止后以电子邮件的形式发送到您的邮箱，敬请自行查询邮箱并仔细阅读标书，哈工大招标办不再另行通知，如有疑问可致电或到访招标办，请在规定时间交纳标书款、投标保证金（标书款收取后一概不退）获取投标资格。

　　（5）如果提供进口产品，投标商须提供与国外厂家的所属关系证明文件；如果提供的是国内产品供应商的注册资金必须超过所投货物的总价，并提供原生产商授权。

　　 （6）请于开标前一天止4日内（节假日顺延）每天早8：00-8：30到指定地点购买标书，未按照要求购买标书的供应商不能取得投标资格。

　　六、报名办法

　　招标人：哈尔滨工业大学

　　招标人地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号

　　 哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室

　　招标联系人：张立 联系电话（自动传真）：0451－********

　　技术联系人：徐成彦 联系方式：132*****823 ****-********

　　邮政编码：150001

　　 哈尔滨工业大学招标采购办公室