12"全自动步进式光刻机招标公告
加 入 日 期： 2011-02-17
招 标 编 号： 0664-1140SUMEC104/01
所 属 行 业：
截 止 日 期： 2011-03-09
招 标 机 构： 江苏苏美达集团公司
地 区： 江苏省
项目名称：12"全自动步进式光刻机等设备采购
日期：2011年02月17日
招标编号：0664-1140SUMEC104/01
江苏苏美达集团公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2011年02月17日公告。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
第一包：12"全自动步进式光刻机 1台
1.1系统配置：
1.1.1 硅片： 200 mm（8英寸）300 mm（12英寸）
1.1.2 硅片片盒：三个12英寸FOUP标准片盒三个8英寸适配片盒，支持标准8英寸标准cassette
1.1.3 硅片传输：4自由度自动传输机械手，双手臂传送
硅片预对准：定心+定向误差检测精度在0.05mm
1.1.4 掩模：6英寸方形（stepper）或是9/12寸方形（aligner）标识符（α39标准）：条形码识别，16个字符
1.1.5掩模版盒：Stepper可以放置12块掩模板
1.1.6 曝光光源：GHI光源，可以自由进行切换到单光线G/I/H
1.1.7 镜头：分辨率优于2um，能实现15um胶厚时3um的线宽要求
1.1.8 对准传感器：对准波长： 520~590nm两个CCD传感器，独立快门控制1/10亚像素图像处理
1.1.9 辅助监视器：用于对准标记的观察与辅助捕获
1.1.10调焦传感器：宽波带白光测量、测量区域中心与曝光视场中心重合、测量区域位于曝光视场内
1.1.11工件台：支持8英寸/12英寸硅片:、气浮结构，双边平衡驱动、带有减震功能
1.1.12 设备减振：主动减振器、三点独立支撑
1.1.13 主控计算机：Windows XP或是UNIX操作系统、支持键盘、鼠标/轨迹球，USB接口
1.1.14 软件：
(1)英文界面；图形驱动界面
(2)登录权限设置，用于操作、工艺、维护等不同使用情况
(3)支持BATCH、JOB、LAYOUT、FIELD定义与管理
(4)支持多种对准、调焦策略选择
(5)支持不同层次的设备参数诊定与部件操作
（6)支持JOB文件输入输出
(7)支持离线硅片图形规划设计
第二包：全自动分片机 1台
1.0设备规格：
2.1 该Sorter机器的实际能力必须达到以下基本要求：
2.1.1可传送晶圆尺寸:12inch/8inch/6inch
2.1.2传送晶圆之功能,可执行
1）分批
2）合并
3）手动传送
4）Recipe传送（定制传送）
5）找寻平边(12inch/8inch wafer)
6)晶圆片刻号读取排序(12inch/8inch wafer)
2.1.3晶圆片厚度范围: 300~850um；(详细请以章节3为准)
2.1.4具Bar code系统, 信息可连接至JCAP服务器。
2.1.5UPS系统, 防止不正常断电,维持机台系统基本运行。
2.2软件
2.2.1机台操作接口及操作系统(Windows)均提供光盘形式备份。
2.2.2PC机上的所有软件的磁盘和CD备份提供了参考指南
2.2.3设备操作接口为中/英文可切换接口。
2.2.4菜单进入要求输入密码（针对操作员和工程师，有二个等级的密码）。
2.2.5设备中所有的计算机硬盘都有额外的备份光盘，如果遇到系统异常或者系统文件丢失，可以备份光盘后马上恢复。
2、招标文件售价：200.00
3、购买招标文件时间：2010年2 月17日起至2010年 3月 8日止，每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京时间，节假日除外）
4、购买招标文件地点：江苏苏美达通用设备贸易咨询有限公司（长江路190号苏美达商务中心3楼）
5、投标截止时间和开标时间：2011-03-09 14:30
6、开标地点：江苏苏美达集团公司二楼开标大厅204室
地 址：中国南京市长江路198号苏美达大厦
邮编：210018
电子邮箱：candyang_88@163.com
电话： ***-********
传真：***-********
联系人：杨扬
开户银行（人民币）：中信南京分行营业部
开户银行（美元）：中信南京分行营业部
帐 号（人民币）：****************675
帐 号（美　元）：****************18