年清洗修复与生产半导体蚀刻机精密部件20000件招标公告
年清洗修复与生产半导体蚀刻机精密部件20000件招标公告
| 项目名称 | 年清洗修复与生产半导体蚀刻机精密部件20000件 |
| 建设地点 | 徐州经济技术开发区庙山路1号 |
| 建设单位 | 英迪那米（徐州）半导体科技有限公司 |
| 环境影响评价机构 | 江苏方正环保设计研究有限公司 |
| 受理日期 | 2019年8月2日 |
| 环境影响报告表全本 | 见附件 |
| 项目概况 | 投资3600万美元租赁位于徐州市经济开发区庙山路北侧、半导体产业园内的2#标准厂房，面积8520平方米，建设年清洗修复与生产半导体蚀刻机精密部件20000件年产项目。 |
| 主要环境影响及对策和措施 | 1、施工期环境影响分析 本项目利用已有厂房，施工期为生产设备的安装，主要污染为噪声及安装设备时产生的固废，在采取切实可行的污染防治措施后对外环境影响较轻，同时这类污染影响是短期的。 2、运营期环境影响分析 （1）废水影响分析 本项目混合废水经总排口排入半导体产业园污水处理站碱废水收集池，经“pH调整+絮凝沉淀+综合调节+缺氧+生物接触氧化” 排入荆马河污水处理厂，荆马河污水处理厂尾水执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准，尾水排入徐州市尾水导流工程。因此，本项目运营期对周围水环境基本无影响。 （2）废气影响分析 涂超微漆、有机溶剂擦拭均为在密闭房间内操作，有机废气经负压收集后经活性炭吸附后再经喷淋后通过1根15米高排气筒（1#）排放。去阳极氧化、阳极氧化工序会产生NOx（主要为NO2）、HF、H2SO4，各个槽上方和操作台边侧均设置集气罩，收集（收集率98%）后引入1套喷淋塔，处理后通过1根15米高排气筒（1#）排放。本项目清洗工艺中的化学浸泡会产生少量酸雾和一定量废气，主要为NOx（主要为NO2）、HF、H2SO4、HCl、NH3。化学浸泡槽上方和操作台边侧均设置集气罩，收集（收集率98%）后引入1套喷淋塔，处理后通过1根15米高排气筒（1#）排放。 有组织非甲烷总烃、甲苯排放满足北京《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表3Ⅱ时段限值标准、丙酮满足江苏省地方标准《化学工业挥发性有机物排放标准》（DB32/3151-2016）表1中相应标准。NOx、HF、H2SO4、HCl满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5相关标准。氨满足《恶臭污染排放标准》（GB14554-93）相应标准。 喷砂工序主要污染物为颗粒物，本项目设置8台喷砂机，每台喷砂机自身配备一台滤筒除尘器，颗粒物经滤筒除尘器处理后合并通过一根排气筒（2#）排放。 喷涂工序主要污染物为颗粒物，喷涂系统设置2台等离子喷涂机、2台电弧喷涂机，2台等离子喷涂机均配套滤筒除尘器，处理后的尾气合并通过一个15米高排气筒（3#）排放。2台电弧喷涂产生的颗粒物经水喷淋处理后的尾气分别通过一个15米高排气筒（4#、5#）排放。 喷砂、喷涂过程中产生颗粒物，各工序产生的粉尘排放速率、排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值（排放速率3.5 kg/h，排放浓度120mg/m3）。 天然气属清洁能源，污染物产生量较小，本项目设置2台蒸汽发生炉，两台蒸汽发生炉公用一根排气筒，天然气直接燃烧后通过（6#）排气筒排放，设置2台热水炉，两台热水炉公用一根排气筒，天然气直接燃烧后通过（7#）排气筒排放。天然气燃烧产生的SO2、NOX、颗粒物排放浓度限值执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）表3中燃气锅炉排放标准。 本项目卫生防护距离为生产车间边界外100m。目前该范围内无学校、医院、居民区等环境敏感点，今后该范围内禁止新建上述环境敏感点。 本项目运营后，各污染物可以达标排放，对周围环境影响较小。 （3）噪声环境影响分析 本项目噪声主要来源于生产设备噪声，噪声源强为85~95dB(A)，经厂房隔声、距离衰减后，厂界噪声值能够达标排放，对周围环境影响很小。 （4）固废影响分析 本项目固废包括一般工业固废、危险废物和生活垃圾。一般工业固废为废喷砂颗粒、喷涂废渣、收集尘等，企业自行收集外售；危险废物为遮蔽胶布、剥落废超微漆膜、废NaOH碱液、废硝酸、废脱脂液、废混酸液（硫酸＋磷酸）、废氟化氢铵溶液、废阳极氧化溶液（硫酸或草酸）、混化学浸泡液、废离子交换树脂、废溶剂包装桶、废活性炭，危险废物交由有资质单位安全处置；通过上述分析，建设项目固体废弃物均得到合理的处置，不会引起二次污染，对周围环境质量影响较小。 结论：从环保角度，项目可行。 |
| 公众参与情况 | 环评阶段未进行公众参与调查。 |
| 承诺文件 | 环评文件公示承诺 |
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