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品目号

货物名称

功 能 技 术 要 求

数量

备注

1

1-1

探针台

探针台台体：

1、 4" 真空吸附卡盘，中心孔径250微米；

2、卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮；

3、 卡盘可X-Y方向移动，移动范围为3"X3"，移动精度为20微米；

4、卡盘表面平整度：5μm。 显微镜：

1、 蝶式设计

2、 变焦：0.8倍~5倍，总放大倍率：16倍~100倍。

3、 双目观察倾斜45 度，双瞳距调节范围52-75mm。

4、 显微镜在X，Y，Z轴方向的调节范围：50.8mm，调节精度为10 微米。

5、 带CCD接口和C-mount。

图像采集设备：

1、具备CCD和图像采集卡

2、 535电视线，

3、 1/3 寸CCD, 44万像素，50dB 的高信噪比。

探针座：

1、 磁力底座

2.2、 X-Y-Z 方向的移动行程分别为12mm

3、精度10微米。弹簧夹具，漏电低于 100fA

4、探针针尖直径为5微米探针：探针漏电低于10pA。

附件：

1、真空泵1套，流量7L/min;

2、DVIO系列专用探针台防震桌1个；

3、SEMISHARE DB—6专用探针台屏蔽箱1个。

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1-2

太阳电池单片分选机和

太阳电池组件测试仪

1、(AAA 级别)可测量参数：20mW/cm2弱光响应，I-V曲线，短路电流，开路电流，峰值功率，峰值功率点电压、电流。定电压点电流，填充因子，转换效率，太阳电池温度。 单脉冲恒定光强，光强稳定度〈0.5%（A 级），测试太阳电池特性曲线；

2、最大可测试面积 长度 200cm 宽度 110cm 分辨率电流 1mA 电压 1mV ，光源 长弧脉冲氙灯，双次测量，等效脉宽100ms 光强范围 20 to 120mW/cm2 灯管寿命300 ,000次；

3、单片分选机用可调排针间距及插拔探针测试不同尺寸规格电池片，单次测试耗时小于1秒，测试间隔小于3秒。

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1

1-3

闭管温扩散/氧化系统

1、外型形式：卧式单管结构；

2、扩散方式：密封扩散 ；

3、最高设计温度：1200℃ ；

4、使用温度范围：400℃--1100℃；

5、恒温区长度：500mm ；

6、石英管内径：Φ150mm ；

7、加热炉体外径：Ф340mm 加热炉体内径:Ф180mm ；

8、扩散片尺寸：4 寸或 2 寸圆硅片；

9、单炉硅片数量：30 片；

10、恒温区精度：±1℃/500mm (400℃--1000℃温段)；

11、单点温度稳定性：±1℃/500mm (工作范围内)/24 小时 ；

12、温度重复性：±1℃/24h 。

13、源温控制器（恒温槽）：配备一套源温控 制器，控温精度 5—30℃范围内±0.2℃（半导体及太阳能电池专用） 。

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2-1

荧光拉曼联用光谱仪

1、双级联500mm焦距单色仪，色散相 减模式，分辨率0.05nm，杂散光小于5*10-9，光谱覆盖范围200-2400nm；

2、超低暗记数光电倍增管，波长范围185-900nm，典型暗计数300cps@25oC；

3、配合激光单色光双光源入口PL样品室，无需改动系统结构，可进行拉曼光谱和荧光光谱测量；

4、无需改变系统结构，可进行红外吸收光谱和透射率测量；

5、可进行激发光谱扫描，发射光谱扫描，同步光谱扫描；

6、陷波滤波器截止波数150cm-1（OD值在0.3到4.0的波数），在本激光波长下截止波长为4nm;光谱带宽波数350cm-1（OD值在03以内），本激光波长下带宽为为10nm；

7、采用200mw 532nm激光器作为拉曼光谱激发光源；

8、采用单光子计数型数据采集系统（计数率100Mcps，采样速率1MB/s，A/D转换精度16bits），超高灵敏度弱光检出能力；

9、数据采集系统采用SRS提供锁相放大器时，配合光谱系统，水拉曼信噪比可达800:1；

10、采用六档滤光片轮进多级谱消除。

11、配套专用工具：内六角螺丝刀、扳手工具套装

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3-1

非自耗真空电弧炉

1、熔化物料（克）：4个×70克；

2、电极最大电流（A）：400-500；

3、引弧方式：手动；

4、工作气体：氩气；

5、真空度：5×10-4Pa；

6、冷却方式：水冷；

7、搅拌方式：手动；

8、功能：金属材料的研究、实验工作，可以广泛应用于高纯金属，难熔金属，半导体材料及放射性材料的冶炼及稀土材料的熔炼；

9、特殊配置：630A电焊机，JK-200真空机组；带吸铸功能；

10、水冷模具1套。

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3-2

大门式微机控制

电子万能试验机

1、采用高速DSP平台；
2、采用基于神经元自适应PID算法的 全数 字、三闭环（力、变形、位移） 控制系统；
3、可进行试验力、变形、位移等速率控 制及保持；
4、闭环控制参数在线辩识；
5、高精准24Bit数据采集系统，高分辨 率，可扩展至8路AD采集；
6、 USB2.0通讯，通讯速率为12Mb/s， 采用全速模式，批量传输方式；
7、系统板采用4层PCB独特抗干扰布线方法，抗干扰能力强；
8、 整个控制系统具有很高的性价比、高可靠性；
9、采用微机控制全试验过程，实时动态显示负荷值、位移值、变形值、试验速度和试验曲线；
10、 全中文的Windows平台下的试验软件；
11、具备完善的限位保护、超载保护、急停等安全保护功能。

12、拉伸夹具1套、弯曲夹具1套、压缩夹具1套；

13、最大实验力值：30T；

14、试验机准确度等级：0.5级；

15、试验力测试范围： 0.4%-100%FS；

16、试验力示值相对误差：示值的±0.5%；

17、试验力分辨率：1/300000FS；

18、横梁位移相示值对误差：±0.5%以内；

19、位移分辨率：0.015um；

20、试验机机型：双空间；

21、伺服电机品牌：进口品牌；

22、负荷传感器：进口品牌；

23、拉伸夹具、手动夹具。

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3-3

电化学工作站

1、能进行常见的如循环伏安、交流阻抗、恒电流、恒电位线性扫描、充放电、计时电流和计时电位、极化曲线电化学测试。

2、最大电流：±250mA

3、恒电位仪带宽：>3MHz

4、信号采集：双通道16-bit ADC, 100K/秒

5、施加电位范围：- 20V ～ +20V

6、电流范围：10pA, 100pA, 1nA, 10nA, 100nA, 1μA, 10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA等档位。

7、测量电流分辨率：0.015%*电流档。

8、施加电流分辨率：0.033%*电流档

9、施加电位精度：0.2%

10、电位范围：±0.4mV, ±4mV, ±40mV, ±0.4V, ±4V, ±10V

11、测量电位分辨率：0.003%*电位范围，最小16nV

12、交流阻抗频率范围：10μHz - 2MHz。

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