中国科学院上海技术物理研究所紫外光刻机项目

招标公告

紫外光刻机已具备招标条件，项目招标人为中国科学院上海技术物理研究所，资金为国拨，出资比例为100%，资金已落实。北京国科军友工程咨询有限公司（招标机构）受中国科学院上海技术物理研究所（招标人）的委托，现对该项目进行国际公开招标。

1.招标产品的名称、数量及主要技术参数

1.1货物需求一览表

1.2主要技术参数：

*3.1 核心技术指标：

*3.1.1 最大曝光面积：8"

*3.1.2 紫外光波长：350 nm～450 nm

*3.1.3 1 μm胶厚下接触式分辨率：0.8μm

*3.1.4 兼容曝光面积：无规则/2"/3"

*3.1.5 汞灯功率：350 W

*3.1.6 在8寸范围内的光强：

1. 365nm下的光强： 10 mw/cm2

2. 405nm下的光强： 25 mw/cm2

   *3.1.7 光强均匀性：±3%

   *3.1.8 曝光方式：真空接触、硬接触、软接触、接近式

   *3.1.9 双面对准功能：支持

   *3.2.0正面对准精度：±0.5μm

   *3.2.1背面对准精度：±1.0μm

   1.3招标编号：1473-194329H07236。

   2.对投标人的资格要求

   2.1投标人应为独立的法人机构，能够独立承担民事责任，具有有效的营业执照或有效的公司注册登记证明材料。

   2.2投标人如为代理商，需提供最近时期制造商出具的授权证明。

   2.3投标人须提供其开户银行在开标日期前三个月内开具的资信证明原件。

   2.4本项目不接受联合体投标。

   2.5投标人必须向招标机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

   3.招标文件获取

   3.1 凡有意参加投标者，请于2019年08月07日至2019年08月13日（法定公休日、法定节假日除外），每日上午09时至11时，下午02时至04时（北京时间，下同）购买招标文件。

   3.2 招标文件售价：每包1000元人民币或150美元（招标文件售后不退）。

   3.3 购买招标文件地点：北京市海淀区中关村南大街31号8号楼二层210室。

   4.投标文件的递交

   4.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2019年08月28日09时00分，地点为上海市玉田路500号15号楼111会议室。

   4.2 逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

   5.开标

   5.1 开标时间为2019年08月28日09时00分，开标地点为上海市玉田路500号15号楼111会议室。

   6.发布公告的媒介

   本次招标公告在、机电产品招标投标电子交易平台、中国招标投标公共服务平台上发布。

   7.监督部门

   中国科学院上海技术物理研究所纪检监察审计办公室

   8.联系方式

   招 标 人： 中国科学院上海技术物理研究所

   地 址： 上海市玉田路500号

   联 系 人： 张玉荃

   电 话： ***-********

   电子邮件： [emailprotected]

   招标机构： 北京国科军友工程咨询有限公司

   邮 编： 100081

   联 系 人： 李征

   电 话： 010—********

   传 真： 010—********

   电子邮件： ********0d4dad3dbd4d1d7d7a2d3d4d1cc818d8f">[emailprotected]