电子枪镀膜机

各公司、厂商：
　　上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室因科研需求，特采购电子枪镀膜机一台。现在网上公开招供应商，欢迎各单位参与投标。
　　一、 设备要求：
　　1、设备名称：电子枪镀膜机
　　2、指标：
　　（1）、真空室
　　直径630毫米，不锈钢，水冷，前门箱式
　　（2）真空系统
　　真空系统配置：分子泵、直联泵
　　排气性能：极限真空8.0E-5Pa；
　　恢复真空：15分钟之内达到4.0E-3Pa
　　漏气速率：低于9.0E-5Pa.m3/秒
　　（3）工件：
　　球罩形工件盘两套；
　　大角度掠入射蒸发夹具一套；
　　（4）蒸发源
　　电子枪：功率10KW，电压8KV（，电流0~1.25A（连续可变）
　　铜坩埚：水冷，光电定位
　　坩埚：坩埚为六穴坩埚
　　热蒸发：热阻电极三根，电源（3KW）
　　(5)烘烤
　　烘烤方式：碘钨灯，从下往上烘烤
烘烤功率：烘烤4组，最高温度300°C
　　（6）膜厚监测系统
　　配晶振型号：SQC310，单探头
　　光学膜厚控制：波长范围350-1100nm。
　　光路系统：倾斜下反射、上透射光路
　　（7）充气
　　配质量流量计一套
　　（8）采用触膜屏控制系统：
　　具体功能：
　　1、真空系统自动
　　2、工件烘烤自动控制
　　3、蒸发自动控制
　　（9）配10P冷水机一台


　　二、投标资料
　　对上述采购信息有意向的具有独立法人资格，有相应经营范围的厂商请于2011年4月11日（星期一）11：00前向上海理工大学设备招投标办公室提供下列相应资料：
　　1．相应单位资格材料：营业执照、税务登记、产品销售代理证明、法人授权证明等说明文件的复印件；
　　2．提交设备报价；
　　3．相应单位的联系地址，联系人、联系电话；
　　4．所有文件一式二份，并加盖公章方为有效。
　　三、其他：
　　技术联系人 ：吴叶华 ********
　　投标截止时间： 2011年4月11日（星期一）上午11：00 （标书请密封并注明标号）
　　标书请寄：上海市军工路516号上海理工大学第二办公楼106室 邮编 200093
　　联系电话（传真）：******** 缪老师