OLED器件制备系统

各公司、厂商：
　　上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室因科研需求，特采购OLED器件制备系统一台。现在网上公开招供应商，欢迎各单位参与投标。
　　一、设备要求
　　1、设备名称：OLED器件制备系统
　　2、技术指标：
　　（1）真空室：含镀膜室及手套箱各一套
　　镀膜室净尺寸：L×W×H:400×400×H450；不锈钢方箱式，前后开门，前滑开门，配有金属密封的观察窗及腔室照明及膜厚仪等预留接口；
　　（2）真空系统
　　 排气性能：优于5.0 E-5Pa；（复合分子泵系统）
　 　恢复真空：从大气抽至10-4Pa≤40min；
　　 漏气速率：低于9.0E-5Pa.m3/秒
　　（3）基片台：
　　可装载3英寸基片； 基片台磁流体密封，可旋转，加热：室温～300℃，PID 智能温控系统；坩埚～样品垂直距离≥300mm（可调整）；
装载基片膜厚均匀性优于±5﹪
　　（4）蒸发源：
　　五组电阻蒸发源，有机及金属蒸发，配坩埚挡板；配蒸发电源功率：1/2KW 可共蒸或分蒸；
　　(5) 镀膜控制系统：逻辑控制及保护系统；
　　（6）膜厚监测系统
　 采用进口美国智能晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚，1套水冷探头。
　　（7）冷却循环及水冷保护系统，配循环水机，为镀膜系统提供所需恒温的冷却循环水；
　　（8）设备验收：
　　① 金属Al膜：膜料铝颗粒，膜厚>1μm，φ30mm，单片测量4个点，均匀性优于±4﹪，片间均匀性优于±5﹪，光洁度好，重复成膜一次；
　　② 有机小分子Alq3膜，膜厚20nm,单片测量4个点，膜厚均匀性误差±0.5nm，光洁度好，重复成膜一次。
　　（9）手套箱技术要求：
　　① 双人单面手套箱：并同镀膜机配合设计，有效无泄露对接及安装
　　材质：全不锈钢结构﹝Type 304﹞
　　② 进口手套；并配有照明及储物架及标准预留接口
　　③ 真空系统：自动控制；真空泵选用英国Edwards真空泵。可分别对过渡舱进行抽真空，并可实现随时单独控制。真空度≤－0.1MPa(大、小右过渡舱均要求抽真空 带显示)
　　④ 控制系统方式：控制单元采用德国Siemens PLC触摸屏，操作菜单可选：中文。
　　包括自诊断、断电自启动特性，具备压力控制和自适应功能。自动控制、循环控制、密码保护、真空室控制采用LCD显示。
　　⑤ 循环系统控制：水、氧控制在<1ppm，设计净化柱吸收容量：水1.3Kg 氧30L。
　　循环风机、净化柱、过滤器：均采用进口厂家品牌。
　　⑥ 调节系统：通过PLC触摸式调节（加热、抽空、净化、再生）全过程无需人为监控。
　　⑦ 再生系统：用于净化系统再次利用，使其活化；再生需要N2/H2或Ar/ H 2的混合气体，其中H2占5-10%。


　 二、投标资料
　　对上述采购信息有意向的具有独立法人资格，有相应经营范围的厂商请于2011年4月11日（星期一）11：00前向上海理工大学设备招投标办公室提供下列相应资料：
　　1．相应单位资格材料：营业执照、税务登记、产品销售代理证明、法人授权证明等说明文件的复印件；
　　2．提交设备报价；
　　3．相应单位的联系地址，联系人、联系电话；
　　4．所有文件一式二份，并加盖公章方为有效。
　　三、其他：
　　技术联系人 吴叶华 ********
　　投标截止时间： 2011年4月11日（星期一）上午11：00 （标书请密封并注明标号）
　　标书请寄：上海市军工路516号上海理工大学第二办公楼106室 邮编 200093
　　联系电话（传真）：******** 缪老师