电子束蒸发系统（ZBZX-JJ20190677）采购公告
电子束蒸发系统（ZBZX-JJ20190677）采购公告
| 项目名称 | 电子束蒸发系统 | 项目编号 | ZBZX-JJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2019-08-29 14:46:42 | 公告截止日期 | 2019-09-03 15:00:00 |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 进口设备：甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 成交后30天 | |
| 预 算 | ￥ 270,500.00未公布 | ||
| 收货地址 | 四川大学望江校区一环路南一段24号 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 电子束蒸发设备 | 1 | 台 | 电工器材无无 |
0">
| 品牌品牌1 | 北京泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | TEMD500 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 预算 | ￥ 270,500.00 |
| 技术参数及配置要求 | 该套设备需配备 E 型电子束蒸发系统和 2 组电阻蒸发源、在线膜厚检测系统。除了常规低熔点金属的蒸镀以外，可应用于制备光学薄膜、导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜等。2.1 真空腔室 ※2.1.1 腔室尺寸不小于φ 500 mm×H600 mm，立式圆柱形、前开门结构、腔室采用水冷套冷却，材质为304不锈钢，所有焊缝连接采用氩弧自动焊接技术，内表面抛光，外表面进行电抛处理；腔室加热室温～150±1℃，PID智能温控闭环控温。 2.1.2 2 套φ 100 mm 观察窗及挡板 预留接口：预留 2 个标准 CF35 接口（装膜厚仪、测温仪等其它用途）； 2.2 基片台 ※2.2.1 电机驱动旋转基片台，转速 0～30 转/分钟可调可控； ※2.2.2 基片台尺寸：可水平或倾斜一定角度旋转，直径不小于200 mm，可装载φ 150 mm 样片；基片架高度：蒸发距≥ 400 mm； ※2.2.3 基片台加热：采用镍铬加热丝 3KW/220 V，具有真空条件下加热快、抗氧化、寿命长等优点； ※2.2.4 基片台加热温度不低于 300℃，φ150 mm 内区域温度均匀性不小于±5 ℃； 采用PID 可编程智能温度控制仪，实现加热温度自动控制。 2. 3 电子束蒸发源 ※2.3.1 电子枪电源 8KW，电子束蒸发源 1 台；电子枪蒸发源坩埚工位为 6 穴。 2.3.2 电子枪挡板：1 套，气动。 2.4 电阻蒸发源 2.4.1 结构：水冷铜电极底部通水冷却，电极夹具高度可调。电极间有隔离板，防止相互污染； ※2.4.2 蒸发电源不小于 3 KW。低压大电流加热模式 0～10V，0～300 A 可调可控； ※2.4.3 数量：2 对电极，蒸发舟采用特种坩埚； 2.5 真空系统 ※2.5.1 真空机组采用“复合分子泵+直联旋片泵”高真空系统； ※2.5.2 分子泵抽速：≥1200 L/S； ※2.5.3 机械泵抽速≥9 L/S 2.5.4 真空阀门:DN200气动挡板阀 1 只；DN40气动前级阀 / 旁路阀各 1 只；Ф 16 mm 电磁放气截止阀 1 只； 2.5.5 真空测量： 数显复合真空计，测量范围从大气 到 1×10 -5 Pa； 2.5.6 真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封，不常拆静密封采用金属密封； 2.5.7 空载极限真空≤ 6.0×10-5 Pa；抽速：空载从大气抽至 6.0×10-4 Pa≤30 min； 2.6 水路系统： ※2.6.1配3P冷却循环水机1台，标准制冷量9.45kW；冷却循环水机的总出水、总回水通过球阀直接与设备水路系统的总进水、总出水相连。 ※2.6.2冷却水路 8 进 8 出，总进水采用水压继电器控制；缺水报警； 2.7 电气控制系统 ※2.7.1 采用 PLC+触摸屏控制，可实现自动一键式抽真空； ※2.7.2 安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统； 完善的逻辑程序互锁保护系统； ※2.8 单探头晶振膜厚监控仪 一套 2.8.1 高亮度，VGA 活性点阵彩色 LCD 显示器–中文显示； 2.8.2 标准 RS-232 和 USB； ※2.8.3 薄膜厚度可精确到 0.1 埃；沉积速率 0.01 埃/秒； ※2.9配低噪音空气压缩机一台 3.控制柜与机架 为整体机架，铝合金外框包装，可以整体移动、安装，底下配脚轮，方便移动、定位；配独立标准电控柜 1.8 米，底下配脚轮，方便移动、定位； |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 质保期:一年; |
四川大学
2019-08-29 14:46:42
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