边框胶涂布机、边框胶脱泡本体招标公告
加 入 日 期： 2011-03-23
招 标 编 号： 0730-1140GD020301/06
所 属 行 业：
截 止 日 期： 2011-04-12
招 标 机 构： 中航技国际经贸发展有限公司
地 区： 四川省
项目名称：ODF相关设备边框胶涂布机,边框胶脱泡本体
日期：2011年03月23日
招标编号：0730-1140GD020301/06
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2011年03月23日公告。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
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在SiNx2000 ？膜层厚度条件下：
产能: ≥ 51 片/小时 (PECVD-一层膜，4个腔体）
单台设备月产能：≥ 33000 片 (PECVD-一层膜，4个腔体)

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线宽：≤3μm±0.4μm（Slit9mm）;≤5μm±0.5μm（Slit17mm）
照射不匀度：≤2%

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装载机（4 Port）与机械手构成In Line化
装载机上包含Mapping Senser(3≥X≥5)

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工作模式：双射频等离子刻蚀
射频电源：
输出：7.5 KW
频率：13.56 MHz+3.2 MHz or 27.12 MHz +3.2 MHz
频率调谐方式：自动
通信接口：RS232C

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用于Gate 、S/D和ITO的PVD必须有4个溅射腔（一个ALNd,两个MO，
一个ITO）
设备结构采用枚叶式（Cluster）

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基板材料：TFT 或 CF 基板
基板尺寸：730mm ×920mm

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移载对象：LCD 卡匣
卡匣尺寸：
Normal CST : 773mm×972mm×898.5mm
设备pass line:
Normal CST : 1100mm

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玻璃尺寸：730*920mm
玻璃厚度：0.3mm~1.1mm

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玻璃尺寸：730*920mm
玻璃厚度：0.3mm~1.1mm

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用于装载腔体: 罗茨泵+ 真空泵 2台
从大气抽到１Torr的时间必须小于112秒
参考流量: 30000L/min+8000L/min
用于传送和加热腔体: 罗茨泵+ 真空泵 1台
>20 slm @ 1Torr
参考流量: 30000L/min+3700L/min

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本冷却器有为上下电极和腔壁进行温控的三个通道。
可控制温度范围: 20～80℃

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报警：闪灯，信号灯显示，蜂鸣器
气体过滤器: 能过滤大于等于0.01μm的杂质

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TFT-节拍≤ 53sec （2.4inch以上产品,264个Panel）
注明：1.单张ID组成 Cell ID(≤132个) + Glass ID（2个）/ Cutting ID(4个)
2.Cell ID组成：Veri code + 15个OCR
TFT-节拍≤ 53sec
注明：1.单张玻璃ID组成 Cell ID(132~336个) + Glass ID（2个）/ Cutting ID(4个)
2.Cell ID组成：Veri code

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玻璃尺寸：730*920mm
玻璃厚度：0.3mm～1.1mm

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联线传输系统厂商应该提供规格，并负责与设备间封框全部作业。
变更操作方案（程序），在保修期内，卖方必须无偿对应。

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设备使用材料和表面涂布材料: 耐酸性和耐高温
该设备应具有很长的寿命和PM周期. (至少5年或更长)

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该系统由一套组成：
一套有三个探测器
蚀刻终点侦测器使用在以下制程中：
(1) a-Si 蚀刻
(2) n+a-Si 蚀刻
(3) SiN 蚀刻
(4) MO 蚀刻
(5)其它膜层：光刻胶，聚酰亚胺和有机薄膜。
提交Process的波形数据

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Scrubber类型：燃烧式（by LNG或LPG）
Scrubber数量：1台

2、招标文件售价：01-12000.00，02-15000.00，03-10000.00，04-9000.00，05-14000.00，06-4000.00，07-3000.00，08-1000.00，09-1500.00，10-1000.00，11-500.00，12-500.00，13-1500.00，14-500.00，15- 500.00，16-500.00，17-500.00，18- 500.00
3、购买招标文件时间：2011年03月23日至2011年04月19日 9时至16时 节假日除外
4、购买招标文件地点：北京市朝阳区慧忠路５号远大中心Ｂ座２０层
5、投标截止时间和开标时间：2011-04-12 10:00
6、开标地点：成都天马微电子有限公司
地 址：中国成都高新西区天源路88号
邮编：611730
电子邮箱：ytx@catic-ted.com
电话： ***-********
传真：***-********
联系人：杨彤欣
开户银行（人民币）：招行亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐 号（人民币）：********10001
帐 号（美　元）： ********094014