化学气相沉积仪招标公告
化学气相沉积仪招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 化学气相沉积仪 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2019-09-09 10:43 |
| 竞价结束时间： | 2019-09-11 09:00我要报价 |
| 申购备注： | 19GZ001570 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 化学气相沉积仪 | 1 | 台 | 邑文 | P5000定制 | 是 | 按行业标准提供服务 | 1、设备要求安装在Applied P5000 平台2、进行4英寸wafer的NSG及PSG薄膜的沉积3、包含一个4英寸CVD chamber，Lamp module等必要的零部件4、工作温度为250---400摄氏度5、PROCESS CHAMBER leak rate ＜10 MT/MIN6、GAS LINE leak rate ＜1 MT/MIN；7、PROCESS BASE PRESSURE＜5 MT 8、RF POWER 偏差±2％9、MFC 偏差±1％10连续1000 pieces wafer/Chamber 无传片报警，无破片10、LAMP,O-RING等耗材为全新CVD chamber 工艺性能要求：1、In-film particle (ea，＞0.2um)"＜ 502、Within wafer U％ "PSG＜1.3％ SIO2＜1.5％ "3、WTW U％＜ 1.5％4、Lot to lot U％＜ 1.5％5、DEP ratePSG＞190A/s SIO2＞170A/s5、Remove RatePSG＞16000A/min(10:1 HF)SIO2＞1400A/min(BOE)售后服务：1.CVD加腔后保固期为12个月2.加腔后腔体出现问题，客户可与工程师随时联系，会在2小时内安排工程师联系客户远程解决，若远程解决无法解决的，会在24小时内安排工程师去客户现场解决。3.提供出厂检验报告及装机报告 | 无 |
标签: 大学
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