6英寸IGCT动态参数测试系统、膜厚仪、台阶仪采购项目 国际招标公告(2)0623-1940J1110100/03
6英寸IGCT动态参数测试系统、膜厚仪、台阶仪采购项目 国际招标公告(2)0623-1940J1110100/03
湖南省招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2019-09-19在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:6英寸IGCT动态参数测试系统、膜厚仪、台阶仪采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0623-1940J*******/03
招标项目名称:6英寸IGCT动态参数测试系统、膜厚仪、台阶仪采购项目
项目实施地点:中国湖南省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包1 | 6英寸IGCT动态参数测试系统 | 1台/套 | 1)计算机控制的自动化测试系统,能进行6英寸及以下IGCT器件的动态开关参数测试,包括标准开关参数测试和极限开关参数测试。2)测试直流电压:200~4500V,最大电流20000A。 | 以上设备按包确定中标人,包中内容及服务不予拆分。 |
包2 | 膜厚仪 | 1台/套 | 1)能够测量硅和碳化硅晶圆上的碳膜、SiO2膜、PSG膜、BPSG膜、多晶硅膜、氮化硅膜、光刻胶膜、PI胶膜等;能够对折射率n、消光系数k等薄膜特性参数进行测量和分析。2)能够兼容4英寸和6英寸晶圆,包括硅片与碳化硅片。 | 以上设备按包确定中标人,包中内容及服务不予拆分。 |
包3 | 台阶仪 | 1台/套 | 1)设备用于SiC功率器件制造过程中,在刻蚀工艺之后测量沟槽的深度和宽度。2)能够兼容4英寸和6英寸晶圆,包括硅片与碳化硅片。 | 以上设备按包确定中标人,包中内容及服务不予拆分。 |
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