镀膜工艺实验室仪器招标公告
镀膜工艺实验室仪器招标公告
项目名称 | 镀膜工艺实验室仪器采购项目 | 项目编号 | JJ********06 |
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公告开始日期 | 2019-10-21 09:11:15 | 公告截止日期 | 2019-10-24 11:00:00 |
采购单位 | 福州大学 | 付款方式 | |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后60天 | 到货时间要求 | |
预 算 | ¥ 349,960.00 未公布 | ||
收货地址 | 福建省福州市闽侯县大学新区学园路2号物信学院大物楼106 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
公告说明 |
采购清单1
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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镀膜工艺实验设备 | 1 | 批 | 特种设备 无 无 |
品牌 品牌1 | 详见相关附件 |
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型号 | 详见相关附件 |
品牌2 | |
型号 | |
品牌3 | |
型号 | |
预算 | ¥ 349,960.00 |
技术参数及配置要求 | 1、品名:射频磁控溅射镀膜仪,品牌:大华,型号:DH-MS250,数量:2台,单价(元):97000,总价(元):194000 DH-MS250 射频磁控溅射镀膜仪 本装置是磁控溅射镀膜系统,该系统兼容直流和射频溅射源,溅射金属、非金属及化合物薄膜(如:ITO)等;广泛应用于科研院所、实验室制备单层或多层薄膜,以及新材料、新工艺研究。 本装置系统结构紧凑,系统采用模块化设计可扩展性高,在保证系统稳定性的前提下,进一步优化您的实验室利用空间;适合摆放于工作台面上。 可开设的实验 1)、掌握磁控溅射法制膜的基本原理; 2)、了解磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围; 3)、磁控溅射法制备金属膜、半导体膜、化合物膜、介质膜等薄膜。 主要技术参数 产品型号:DH-MS250 溅射腔体:约Φ250×H250mm;304不锈钢焊接腔体,圆柱式,前部配有CF35观察窗;后置抽气系统;预留有分子安装法兰,上掀盖 真空系统:配一台4L/S双旋片机械泵, 真空测量:ZDR-1数显电阻真空计,量程:0.1Pa~105 Pa 磁控溅射源:2英寸磁控溅射靶 数量:1支 旋转基片台:承载最大直径80mm基片;基片台磁流体密封,电机驱动基片台旋转,旋转速度0-20转/分钟可调。配气动挡板 衬底加热:室温—300℃,采用PID温控仪控温,控温精度±1℃ 溅射电源:13.56MHZ 300W射频磁控溅射电源 数量:1台 极限真空:优于5×10-1 Pa 工作压力:小于10Pa 靶 材:Cu Φ50.8×5mm 4N;一块 进气接口:采用计量阀进气,可精密调节进气流量。可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应溅射镀膜; 数量:2路 工作电压:AC220V 50/60Hz 设备控制:手动逻辑按钮控制 外形尺寸:约900(w) x 580(d) x 600 (h)mm 含40L钢瓶及耗材 2、品名:小型程序控温蒸发镀膜仪,品牌:大华,型号:DH-USP-I,数量:3台,单价(元):38000,总价(元):114000 是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪,可以设定程序,精确控制温度200℃~1500℃(或者200℃~1700℃),最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,广泛用于电极的制备和有机物发光LED。 技术参数: 产品型号:DH-USP-I 真 空 室:直径6英寸的石英腔体,易清洁和放入样品;2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性; 温控及加热源:采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制工作温度为200℃-1500℃;可选B型热电偶:工作温度200℃-1700℃; 蒸发功率:500W 最大电流:30A 数显温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为±1℃;也可将仪器转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度最高可达2000℃,可达到对样品镀碳等实验; 样品台:直径为Φ50mm;样品台可旋转,一次可放置四个样品,转速为:5rpm;样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:60mm-100mm; 真空系统:机械泵带油污过滤器 真空度:5×10-1Pa, 真空测量:ZDR-1 数显电阻真空计 可蒸镀金属:蒸发贵金属如Au,Ag 进气接口:进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜;进气口安装有一针阀,用于调节进气流量。 工作电压:AC220V 50/60Hz 外形尺寸:500(w) x 450(d) x 520 (h)mm 3、品名:循环水冷却机组(配套),品牌:大华,型号:DHCW,数量:1台,单价(元):20000,总价(元):20000 循环水冷却机组(配套) 采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,无须专业人员均能正常使用。安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式,方便使用和维护。 1)、标准制冷量:2941 Kcal/h 2)、 输入功率:1.29 kw 3)、冷冻水量(m3/h):0.59 4)、水箱容量(L):16 5)、安全保护:压缩机过热,过流,高低压力,超温,流量,相序,排气过热保护 6)、外形尺寸:长580mm×宽440mm×高770mm 4、品名:空压机,品牌:TUGPT,型号:TGY30-680-30L,数量:1套,单价(元):2000,总价(元):2000 功率:680W 电压:220V 重量:24KG 储气量:30L 排气量:128L/min 外形尺寸:40*40*51cm 5、品名:恒温干燥箱,品牌:精宏,型号:DHG-9141A,数量:1台,单价(元):5000,总价(元):5000 用途概述 供工矿企业、化验室外、科研单位等作干燥、烘焙、熔腊、灭菌之用。 产品特点 1 )、工作室采用优质钢板或不锈钢板。 2) 、微电脑智慧控温仪,具有设定,测定温度双数字显、定时、功率抑制和自整定功能,控温精确可靠。 3 )、热风循环系统由低噪声风机和风道组成,工作室内温度均匀 技术参数 1)、控温范围:RT+10-200°C 2)、工作室尺寸mm:450*550*550 3)、外形尺寸mm:585*710*895 4)、消耗功率:1120W 5)、控温精度:0.1°C 6、品名:烘箱,品牌:迎工,型号:101-1A,数量:2台,单价(元):1100,总价(元):2200 迎工 101-1A 内部空间(MM,宽*深*高):450*350*450; 功率KW:2/220V; 外形尺寸(MM,宽*深*高):720*500*680; 内胆材质:镀锌板; 温控:±10-300°C; 定时范围:1-999分钟 7、品名:防爆箱,品牌:富通,型号:FT-02,数量:1台,单价(元):930,总价(元):930 外形尺寸:1200*900*450(高*宽*深) 内部规格:1120*830*390(高*宽*深) 可调层板:2块 门类型:双门/带玻璃视窗 8、品名:急救箱,品牌:科洛,型号:BC-L-004,数量:1台,单价(元):600,总价(元):600 材质:透明亚克力面板、铝合金边框 规格mm:348*338*147 9、品名:除湿机20㎡,品牌:森井,型号:CR-20A,数量:1台,单价(元):1980,总价(元):1980 森井 型号CR-20A 控制方式:数码型 电源电压220V~50Hz 功率 245W-285W 电流 2.8A 除湿量 20L/天 (30℃RH80%) 适用温度5℃-38℃ 毛重 15Kg 循环风量:150m3/h 包装尺寸 675×445×265 湿度控制范围 30%-80% 本机适用水箱排水,水满自动停机,水箱储水量为4升 滤尘网采用特有的卡式过滤网 三分钟延时启动,保护压缩机 24小时定时开关机 过、欠电压保护 传感器故障自诊功能 自动除霜,适用低温环境。 适用于制造车间、办公室,客厅,卧室,等(适用面积20-35平米,层高2.6米左右) 10、品名:除湿机60㎡,品牌:森井,型号:CR-60Y,数量:1台,单价(元):2250,总价(元):2250 森井 型号:CR-60Y 单位名称:台 控制方式:数码型 详细说明: 电源电压220V~50Hz 功率 800W 电流 3.8A 除湿量 56L/天 (30℃RH80%) 适用温度5℃-38℃ 毛重 32Kg 循环风量:620m3/h 包装尺寸 720×530×420 湿度控制范围 10%-95% 自动除霜 本机适用水箱排水,水满自动停机 滤尘网采用空气过滤隔尘网 三分钟延时启动,保护压缩机 过、欠电压保护 传感器故障自诊功能 湿度显示 1-24小时定时关机设定 微电脑自动除霜,适用低温环境。 比机械式自动除霜更可靠、更精确 适用于制造车间、办公室,客厅,卧室,工厂、仓库、等(适用面积85~90平米,层高2.6米左右) 11、品名:匀胶机,品牌:中科院微电子所,型号:KW-4A,数量:1台,单价(元):7000,总价(元):7000 广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产。 可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。 20年精心打造核心技术, KW-4A型经典匀胶机被仿冒无数仍无法超越。国产匀胶机第一品牌,年出货500台。 基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片,最大100×100mm2方片 转速:500-8000RPM 转速稳定性:<±1% 旋涂均匀性:<3% 旋涂工艺阶段:2 段 旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最大(0~180S) 整机尺寸(长宽高): 210mm×260mm×275mm 裸机尺寸(长宽高): 210mm×260mm×155mm 电机功率:40W 适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料 需提供品牌授权书及质量保证书,无法提供相关证明文件的视为投标无效。为更好的提供售后服务要求供货企业为福州本地企业。 |
参考链接 | |
售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算一年; |
福州大学
2019-10-21 09:11:15
标签: 实验室仪器
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