镀膜工艺实验室仪器招标公告

镀膜工艺实验室仪器招标公告


项目名称镀膜工艺实验室仪器采购项目项目编号JJ********06
公告开始日期2019-10-21 09:11:15公告截止日期2019-10-24 11:00:00
采购单位福州大学付款方式
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后60天到货时间要求
预 算¥ 349,960.00 未公布
收货地址福建省福州市闽侯县大学新区学园路2号物信学院大物楼106
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类
镀膜工艺实验设备1特种设备 无 无
品牌 品牌1详见相关附件
型号详见相关附件
品牌2
型号
品牌3
型号
预算¥ 349,960.00
技术参数及配置要求1、品名:射频磁控溅射镀膜仪,品牌:大华,型号:DH-MS250,数量:2台,单价(元):97000,总价(元):194000
DH-MS250 射频磁控溅射镀膜仪
本装置是磁控溅射镀膜系统,该系统兼容直流和射频溅射源,溅射金属、非金属及化合物薄膜(如:ITO)等;广泛应用于科研院所、实验室制备单层或多层薄膜,以及新材料、新工艺研究。
本装置系统结构紧凑,系统采用模块化设计可扩展性高,在保证系统稳定性的前提下,进一步优化您的实验室利用空间;适合摆放于工作台面上。
可开设的实验
1)、掌握磁控溅射法制膜的基本原理;
2)、了解磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围;
3)、磁控溅射法制备金属膜、半导体膜、化合物膜、介质膜等薄膜。
主要技术参数
产品型号:DH-MS250
溅射腔体:约Φ250×H250mm;304不锈钢焊接腔体,圆柱式,前部配有CF35观察窗;后置抽气系统;预留有分子安装法兰,上掀盖
真空系统:配一台4L/S双旋片机械泵,
真空测量:ZDR-1数显电阻真空计,量程:0.1Pa~105 Pa
磁控溅射源:2英寸磁控溅射靶 数量:1支
旋转基片台:承载最大直径80mm基片;基片台磁流体密封,电机驱动基片台旋转,旋转速度0-20转/分钟可调。配气动挡板
衬底加热:室温—300℃,采用PID温控仪控温,控温精度±1℃
溅射电源:13.56MHZ 300W射频磁控溅射电源 数量:1台
极限真空:优于5×10-1 Pa
工作压力:小于10Pa
靶 材:Cu Φ50.8×5mm 4N;一块
进气接口:采用计量阀进气,可精密调节进气流量。可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应溅射镀膜; 数量:2路
工作电压:AC220V 50/60Hz
设备控制:手动逻辑按钮控制
外形尺寸:约900(w) x 580(d) x 600 (h)mm
含40L钢瓶及耗材
2、品名:小型程序控温蒸发镀膜仪,品牌:大华,型号:DH-USP-I,数量:3台,单价(元):38000,总价(元):114000
是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪,可以设定程序,精确控制温度200℃~1500℃(或者200℃~1700℃),最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,广泛用于电极的制备和有机物发光LED。
技术参数:
产品型号:DH-USP-I
真 空 室:直径6英寸的石英腔体,易清洁和放入样品;2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性;
温控及加热源:采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制工作温度为200℃-1500℃;可选B型热电偶:工作温度200℃-1700℃;
蒸发功率:500W 最大电流:30A
数显温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为±1℃;也可将仪器转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度最高可达2000℃,可达到对样品镀碳等实验;
样品台:直径为Φ50mm;样品台可旋转,一次可放置四个样品,转速为:5rpm;样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:60mm-100mm;
真空系统:机械泵带油污过滤器
真空度:5×10-1Pa,
真空测量:ZDR-1 数显电阻真空计
可蒸镀金属:蒸发贵金属如Au,Ag
进气接口:进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜;进气口安装有一针阀,用于调节进气流量。
工作电压:AC220V 50/60Hz
外形尺寸:500(w) x 450(d) x 520 (h)mm
3、品名:循环水冷却机组(配套),品牌:大华,型号:DHCW,数量:1台,单价(元):20000,总价(元):20000
循环水冷却机组(配套)
采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,无须专业人员均能正常使用。安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式,方便使用和维护。
1)、标准制冷量:2941 Kcal/h
2)、 输入功率:1.29 kw
3)、冷冻水量(m3/h):0.59
4)、水箱容量(L):16
5)、安全保护:压缩机过热,过流,高低压力,超温,流量,相序,排气过热保护
6)、外形尺寸:长580mm×宽440mm×高770mm
4、品名:空压机,品牌:TUGPT,型号:TGY30-680-30L,数量:1套,单价(元):2000,总价(元):2000
功率:680W
电压:220V
重量:24KG
储气量:30L
排气量:128L/min
外形尺寸:40*40*51cm
5、品名:恒温干燥箱,品牌:精宏,型号:DHG-9141A,数量:1台,单价(元):5000,总价(元):5000
用途概述
供工矿企业、化验室外、科研单位等作干燥、烘焙、熔腊、灭菌之用。
产品特点
1 )、工作室采用优质钢板或不锈钢板。
2) 、微电脑智慧控温仪,具有设定,测定温度双数字显、定时、功率抑制和自整定功能,控温精确可靠。
3 )、热风循环系统由低噪声风机和风道组成,工作室内温度均匀
技术参数
1)、控温范围:RT+10-200°C
2)、工作室尺寸mm:450*550*550
3)、外形尺寸mm:585*710*895
4)、消耗功率:1120W
5)、控温精度:0.1°C
6、品名:烘箱,品牌:迎工,型号:101-1A,数量:2台,单价(元):1100,总价(元):2200
迎工 101-1A
内部空间(MM,宽*深*高):450*350*450;
功率KW:2/220V;
外形尺寸(MM,宽*深*高):720*500*680;
内胆材质:镀锌板;
温控:±10-300°C;
定时范围:1-999分钟
7、品名:防爆箱,品牌:富通,型号:FT-02,数量:1台,单价(元):930,总价(元):930
外形尺寸:1200*900*450(高*宽*深)
内部规格:1120*830*390(高*宽*深)
可调层板:2块
门类型:双门/带玻璃视窗
8、品名:急救箱,品牌:科洛,型号:BC-L-004,数量:1台,单价(元):600,总价(元):600
材质:透明亚克力面板、铝合金边框
规格mm:348*338*147
9、品名:除湿机20㎡,品牌:森井,型号:CR-20A,数量:1台,单价(元):1980,总价(元):1980
森井 型号CR-20A
控制方式:数码型
电源电压220V~50Hz
功率 245W-285W
电流 2.8A
除湿量 20L/天 (30℃RH80%)
适用温度5℃-38℃
毛重 15Kg
循环风量:150m3/h
包装尺寸 675×445×265
湿度控制范围 30%-80%
本机适用水箱排水,水满自动停机,水箱储水量为4升
滤尘网采用特有的卡式过滤网
三分钟延时启动,保护压缩机 24小时定时开关机
过、欠电压保护
传感器故障自诊功能
自动除霜,适用低温环境。
适用于制造车间、办公室,客厅,卧室,等(适用面积20-35平米,层高2.6米左右)
10、品名:除湿机60㎡,品牌:森井,型号:CR-60Y,数量:1台,单价(元):2250,总价(元):2250
森井 型号:CR-60Y
单位名称:台
控制方式:数码型
详细说明:
电源电压220V~50Hz
功率 800W
电流 3.8A
除湿量 56L/天 (30℃RH80%)
适用温度5℃-38℃
毛重 32Kg
循环风量:620m3/h
包装尺寸 720×530×420
湿度控制范围 10%-95%
自动除霜
本机适用水箱排水,水满自动停机
滤尘网采用空气过滤隔尘网
三分钟延时启动,保护压缩机
过、欠电压保护
传感器故障自诊功能
湿度显示
1-24小时定时关机设定
微电脑自动除霜,适用低温环境。
比机械式自动除霜更可靠、更精确
适用于制造车间、办公室,客厅,卧室,工厂、仓库、等(适用面积85~90平米,层高2.6米左右)
11、品名:匀胶机,品牌:中科院微电子所,型号:KW-4A,数量:1台,单价(元):7000,总价(元):7000
广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产。
可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。
20年精心打造核心技术, KW-4A型经典匀胶机被仿冒无数仍无法超越。国产匀胶机第一品牌,年出货500台。
基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片,最大100×100mm2方片
转速:500-8000RPM
转速稳定性:<±1%
旋涂均匀性:<3%
旋涂工艺阶段:2 段
旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最大(0~180S)
整机尺寸(长宽高): 210mm×260mm×275mm
裸机尺寸(长宽高): 210mm×260mm×155mm
电机功率:40W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
需提供品牌授权书及质量保证书,无法提供相关证明文件的视为投标无效。为更好的提供售后服务要求供货企业为福州本地企业。
参考链接
售后服务质量保证期:验收合格之日起算一年;

福州大学

2019-10-21 09:11:15



标签: 实验室仪器

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