高真空蒸发镀膜机　　

一、项目名称：高真空蒸发镀膜机（附手套箱）

二、招标编号：*******

三、招标人：苏州大学实验室与设备管理处

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼1012室

邮编：215021　　　　　　　传真：****-********

联系人：丁悦　　　　　　　电话：****-********，********

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：张勇　　　　　电话：0512- ********

电子邮箱：zhang-qinghe@263.net

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

第一包：高真空镀膜和手套箱一体机　　1台

高真空镀膜机部分：

1.       正方形的镀膜腔室，腔室不小于380×380×500 mm。

2.       腔室可以有两个门，一个门连接手套箱内侧，用于在手套箱内操作；另一个门在手套箱的外侧，便于腔室内部维护。门式开有玻璃视窗，便于观察。

3.       真空室的操作控制需要用触摸屏的PLC控制来实现，对有机物蒸镀的实时参数（如真空度、蒸发速率、温度等）可实现导出保存的功能。

4.       真空室的极限真空优于9 x 10-7 Torr，正常到达极限真空的时间小于1小时。

两个金属蒸发源，两个有机蒸发源，蒸镀控制方法可以手动或自动同时实现。蒸发速率可以通过触摸屏实现自动控制。两个有机蒸发源可以同时工作，也可单独工作。有机蒸发源的温度可实时显示。

5.       两个石英振荡探头，需要水冷控温，位置可以随意调节。

6.       蒸发源挡板一片，安装高度可以调节；样品挡板一片，安装高度可以调节。

7.       样品可以加热，温度范围从25-350摄氏度可控，范围+/-10℃

8.       样品台必须能够旋转。

9.       蒸镀过程中样品厚度可以实时监测（包括金属材料和有机材料）

10.   可选附件：

在两个有机蒸发源的基础上增加两个有机蒸发源。

 

手套箱部分：

1.         在标准状况下，即20oC恒温，一个标准大气压，99. 999%的惰性气源，水氧指标均小于1 ppm，气体的泄漏率<0.05vol%/h

2.         箱体及大小过渡舱使用304不锈钢板，前视窗为钢化玻璃，耐磨防腐蚀；触摸屏PLC控制，自动化程度高，可实现

3.         箱体内气体压力自动控制，箱体内气氛自动洗，净化材料自动再生，系统运行数据自动记录等操

4.         手套箱为两位操作，一侧用于真空镀膜机，另一侧用于选择涂膜等操作。

可选附件：

甩胶机    甩胶机指标如下：

1.         时间设定范围：1~999秒；

2.         转速范围：100rpm~8000rpm(1%)；

3.         适用：Φ10-Φ100mm 氧化铟锡导电玻璃、硅片及其它材料等匀胶

其他要求：

标书内注明：

1.         国内维修服务情况，维修费用

2.         常用耗材价格

 

五、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试及验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》第22条中的要求执行。

六、招标文件价格：标书每份人民币500元（可投标时交纳），售后不退。

七、投标截止时间：2011年6月20日9∶00。各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件一式4份（其中正本1份，副本3份）送达招标人处。

八、开标时间：2011年6月20日9∶15。

九、未尽事宜，按《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》中的相关条款执行。

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com