紫外光刻机（JJ19001108）采购公告

招 标 正 文
 

紫外光刻机（JJ19001108）采购公告

项目名称紫外光刻机项目编号JJ********
公告开始日期2019-11-18 08:20:05公告截止日期2019-11-21 09:00:00
采购单位东北大学付款方式货到验收合格后付全款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后20天到货时间要求签约后30天
预 算￥ 290,000.00未公布
收货地址辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

0">; 需要有ISO认证和CE认证(必选)

公告说明

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类
紫外光刻机1台其他特种设备无无

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品牌品牌1IOE
型号URE-2000/30
品牌2
型号
品牌3
型号
预算￥ 290,000.00
技术参数及配置要求工作条件：
电压：220V电源(电流大于10A以上)
压缩空气：≥0.4Mpa
真空：≤-0.07Mpa
氮气：根据用户需求进行配置
主要技术参数：
曝光面积：110mm×110mm
曝光波长：365nm
分辨力：≤1mm（胶厚1.5 mm的正胶）
对准精度：±0.6mm
显微镜扫描台运动范围：X： >15mm;Y: >15mm
掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
样片尺寸：直径f15mm-- f100mm（各种不规则片）
厚度0.1mm--6mm
曝光方式：定时（倒计时方式）曝光模式
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）
双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：10倍、16倍、20倍
曝光对准双工位自动切换
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和间隙
具备压印模块接口，也具备接近模块接口
掩模相对于样片运动行程：
X: > ±5mm;Y: >±5mm; q: > ±6o
最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）
光源平行性：3 o
曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面温度<35 oC
单层曝光一键完成
采用球气浮
曝光光源：紫外LED（进口）
设备构成与配置明细
整机由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台、对准显微镜、电控系统、气动系统及辅助配置构成。
（1）曝光头
紫外LED光源模块
LED光源整形模块
冷却风扇
光学系统：固定光栏、可变光栏、电子快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、场镜、冷光反射镜；
（2）对准工件台
光刻机底座
工位切换台（气缸）
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,三点自动完成
样片调焦机构，电机自动调
基片抽拉式上下机构
承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸
掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
样片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
光源、 电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
CCD对准系统，22寸液晶显示器
（4）电控系统
紫外LED控制模块
嵌入式控制系统
液晶触摸控制屏
控制柜桌
（5）气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
（6）其他附件
真空泵一台
空压机一台
配套接口管道
（7）技术资料
使用维修说明书
产品检验合格证
参考链接
售后服务服务网点:本地（沈阳）;电话支持:7x24小时;服务年限:1;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;供应商提供售后服务承诺书，对所提供的产品做如下承诺：具有完善的技术支持服务体系，在项目所在地具备直接的实施和服务能力，能够向用户提供统一快捷的技术支持服务。设备验收合格后，供应商对用户提供设备的使用、校准、日常保养等方面的培训。买方如遇技术问题，供应商随时提供技术支持。保修1年，负责长期维修（只收材料成本费和旅差费，不收劳务费）。质保期自最终验收合格并交付使用之日起计算。设备质保期按国家、厂商、行业标准执行，质保期由设备安装调试合格后开始计算。;

东北大学

2019-11-18 08:20:05

*******A916FCC4FAD9478D867.shtml">公告地址



联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 紫外光

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