有机-金属真空热蒸镀仪（JJ2019000271）采购公告

招 标 正 文
 

有机-金属真空热蒸镀仪（JJ2019000271）采购公告

项目名称有机-金属真空热蒸镀仪项目编号JJ********71
公告开始日期2019-11-22 14:44:17公告截止日期2019-11-25 16:00:00
采购单位福州大学付款方式甲方先向乙方预付合同总额的40%，全部货物交货并最终验收合格后，甲方再凭验收合格材料向乙方支付50%的合同款，乙方提供全额的正式发票，余款10%待全部货物验收合格正常运行一年后付清。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后110天
预 算￥ 490,000.00未公布
收货地址福州大学阳光科技大楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类
有机-金属真空热蒸镀仪1台特种设备无无

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品牌品牌1方昇光电
型号FS380-S6
品牌2
型号
品牌3
型号
预算￥ 490,000.00
技术参数及配置要求1. 采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质铝型材搭建；
2. 机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备；
3. 相关盖板要求采用阳极氧化处理，防止表面氧化变色；
4. 提供3套基片和掩膜结构，
一：可安装6个尺寸30mm*30mm的基片托盘，可真空状态下更换1次掩膜板；
二：可安装4个尺寸30mm*30mm的基片托盘，可真空状态下更换2次掩膜板；
三：可安装15个尺寸30mm*30mm的基片托盘，真空状态不需要跟换掩膜版。
5. 样品盘可旋转，旋转速度0-30转/分可调；
6. 样品、挡板转动采用磁流体密封，通过软件控制；
7. 共6组蒸发源，均为水冷电极，6组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板，源与源之间安装有热影响消除装置；
8. 配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，打开方式为上下，速度可通过气阀调节；
*9. 配2台蒸发电源，功率1.4KW以上，用于蒸发金属和有机，可切换到6组蒸发源中任意1组。蒸电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过手动控制；
10. 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度；
*11. 膜厚仪一套，可同时显示4个膜厚探头的读数，速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度1A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性±2ppm（0-50度)，测量周期0.1-1秒可调。带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率；
12. 石英晶振探头4个， 6MHZ以上，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构；
13. 腔本由SUS304制作，其内部尺寸约为380*380*530mm；
14. 腔体有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理；
15.腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕；
16. 腔体漏率优于5X10-10Pa.m3/S，极限真空优于4*10-5Pa，从大气抽至5.0*10-4Pa,时间小于15分钟(腔内充氮气，手套箱操作)；
17. 主泵抽速不低于600L/S，采用分子泵；
18. 前级泵抽速不低于16立方米每小时；
19. 气动高真空插板阀，口径不小于150mm；
20. 带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。
21. 采用触摸屏式控制，包含安全互锁设置，以防止误操作。
*22. 该设备需要非标订制，投标人投标时必须提供以下书面盖章承诺：中标后可按照实际场地和实验需求，对蒸镀仪进行非标订制，同时对各项指标进行验收，若不能满足客户实验需求，买方可退货；同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。
*23. 提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训，包括有蒸镀技巧，共蒸发注意事项，掺杂蒸发技巧，常见有机材料选用注意事项等，并提供设备样机试用时的有机及金属材料,同时对各项指标进行验收。
试机器件结构：HAT-CN(10 nm)/NPB(60 nm)/Alq(60 nm)/LiF(2 nm)/Al(120 nm)
需要达到最低器件性能：@电流密度5 mA/cm2，电压4.8 V，3.6 cd/A，2.4 lm/W，色坐标（0.35,0.53），波峰532 nm
*24. 投标人须为境内合法注册登记的法人，中标后不允许分包、转包。投标人必须按要求在报价说明一栏分别填写所投产品生产厂商（全称）和产地信息，如不提供，视为无效投标。
*25. 甲方先向乙方预付合同总额的40%，全部货物交货并最终验收合格后，甲方再凭验收合格材料向乙方支付50%的合同款，乙方提供全额的正式发票，余款10%待全部货物验收合格正常运行一年后付清。
参考链接
售后服务质量保证期:验收合格之日起算两年;

福州大学

2019-11-22 14:44:17

*******.shtml">公告地址



联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 真空 金属

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