膜反应器控制仪（GY201910404）招标公告
膜反应器控制仪（GY201910404）招标公告
| 项目名称 | 膜反应器控制仪 | 项目编号 | GY********4 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2019-12-03 15:06:29 | 公告截止日期 | 2019-12-06 16:00:00 |
| 采购单位 | 山东大学 | 付款方式 | 国产设备与家具：货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预 算 | ￥ 186,000.00未公布 | ||
| 收货地址 | 山东大学中心校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 膜反应器控制仪 | 1 | 台 | 其他特种设备无无 |
0">
| 品牌品牌1 | 瑶纳 |
|---|---|
| 型号 | D100-4882 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 预算 | ￥ 186,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | (一) 设备采用不锈钢设备框架，采用定制抗指纹不锈钢，钢板厚度2 mm； (二) 样品基片尺寸：4英寸； (三) 一体式不锈钢抛光反应器1) 不锈钢圆形反应腔。反应器内径为150毫米，满足基片尺寸4英寸要求； 2) 反应器加热温度：室温~400 ℃；精度±0.1 ℃； 3) 反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热，便于温度均匀性调控； 4) 反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，增加温度稳定性和均匀性。 (四) 采用8通道阀岛集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）；1路用于控制尾阀。4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源）。 (五) 采用8通道高精度PID温控系统，温控精度±0.1℃；固体继电器控温，节能高效。 (六) 载气采用数字流量计程序控制，控制精度±0.3 sccm； (七) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路；采用高效率旋片式真空泵，抽速3L/s，KF快接接口，方便装卸。 (八) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵。 (九) 控制系统：1) 本设备由软件控制。方便程序升级、更新、镀膜工艺加载和保存。 2) 沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便对镀膜参数进行控制。 3) 程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查。 4) Closed type和Flow type两种模式可选：程序可任选两种模式中的一种，一键设定，方便可选。 5) 沉积序列设置方便，可交替循环，实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的设计与制备。 6) 程序设计有最高气压限制、温度范围限定，可防止CVD反应。 附件：主机、不锈钢反应器、温度控制系统、集成气动控制系统、软件控制系统、旋片式真空泵1台、尾气吸附肼1套、阀岛1个、KF快接接口5套、不锈钢波纹管1根、气体质量流量计1个、真空计1个 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:2年;响应时限:报修后48小时;供货时间要求:成交后一周内; |
2019-12-03 15:06:29
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