曝光机招标公告

项目名称：曝光机
日期：2011年08月02日
招标编号：0730-1140GD026602
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
7.3.3 硬件规格:
* 7.3.3.1 基板进曝光机与出曝光机，机械手臂要求的精度:进片:≦±5 mm, 出片:≦±4mm(TFT与CF规格相同)
* 7.3.3.2 每台机台内光罩储存槽，最少需有5套(TFT与CF规格相同)
7.3.3.3 每台机台内放置光罩的光罩盒，最少需有5套(TFT与CF规格相同)
* 7.3.3.4 每台机台需有光罩条形码读取器(TFT与CF规格相同)
* 7.3.3.5 基板兼容性(TFT与CF规格相同): 0.5mm~ 0.7mm t基板
7.3.3.6 基板兼容性(TFT与CF规格相同): 0.4mm~ 0.7mm t基板
* 7.3.3.7 机台腔内温度(Equipment Chamber Temperature) (TFT与CF规格相同):23±0.5℃
7.3.3.8 异物(Particle)数量(≥0.3um)≤100 ea(TFT与CF规格相同)
7.3.3.9 静电(ESD)≤±100V Condition =>1000V->100V≤5S(TFT与CF规格相同)
7.3.3.10 必需使用超高压水银灯(Ultra-high pressure mercury lamp)_12kw(TFT与CF规格相同)

2、招标文件售价：RMB5000.00 or USD780.00
3、购买招标文件时间：2011年08月02日至2011年08月26日 9时至16时 节假日除外
4、购买招标文件地点：中国北京市朝阳区慧忠路５号远大中心Ｂ座14层
5、投标截止时间和开标时间：2011-08-22 10:00
6、开标地点：上海天马微电子有限公司
地 址：上海市浦东新区汇庆路889号
邮编：100101
电子邮箱：ytx@aited.cn
电话： 0086-10-********，0086-0-138*****701
传真：0086-10-********，0086-10-********
联系人：杨彤欣 先生
开户银行（人民币）：招行亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐 号（人民币）：***************
帐 号（美　元）：********094014 SWIFT CODE：BKCHCNBJ