双频激光干涉仪招标公告

双频激光干涉仪招标公告


项目单位:清华大学

招标代理机构:清华大学

清设报第201168号

清华大学拟对购置双频激光干涉仪1台进行招标,欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下:
一、项目简介
清华大学精仪系购置双频激光干涉仪设备用于超低压力下CMP系统研制与工艺开发研究项目。
二、招标内容
双频激光干涉仪一台及测量直线度、平面度、垂直度、回转轴校准以及辅助调节的相应附件,其主要技术指标如下:
1、产品需以激光波长为测量基准,采用激光干涉原理来实现检测三座标测量机、数控机床的各项测量功能。用四象限传感器、水平仪等原理的测量方法将不在本项目考虑之列;
2、产品应该能与清华大学精仪系的已有XL80及其附件配合使用,实现资源共享;
3、激光长期稳频精度:≤±0.05ppm;
4、线性测量长度范围:0—80m;最高测量速度:≥4m/s;
5、动态采集频率:10Hz—50KHz;
6、角度测量范围:±175mm/m (±10度);直线度测量范围:0.1—4m;
7、平面度测量范围:±1.5mm;垂直度测量光学直角尺:±1秒;
8、回转轴测量:电机控制自动测量,0-360°内可测量任意角度,精度:±1秒。
三、资格预审要求
1具有独立承担民事责任能力,遵守国家法律法规,具有良好信誉,具有履行合同能力和良好的履行合同的记录,具有良好资金、财务状况的法人实体;
2 投标单位营业执照(复印件,加盖公章);
3 有针对本项目的法人代表授权委托书(原件);
4、不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书(原件);
5、企业资质证明、ISO9001质量体系认证、及其它相关材料(复印件,加盖公章)。
6. 此项目为免税项目
报名时需提交以上资料,同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或文字表述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审,招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象,未被邀请者恕不另行通知。
四、报名时间与地点
报名时间:2011年8月30日-2011年9月5日
(每天上午8:30-11:30,下午1:30-4:30,节假日休息)
报名地点:清华大学实验室与设备处9号楼203室
五、联系方式
联 系 人:王老师,刘老师 联系电话:010-****************






联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

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