北方民族大学化学气相沉积（PECVD）设备采购项目（GDC-****************1）网上竞价公告

公告日期： 2011-10-11 13:20:19
项目名称： 北方民族大学化学气相沉积（PECVD）设备采购项目
项目编号： GDC-****************1
中央国家机关政府采购中心受采购单位 北方民族大学 委托,
对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上投标。

采购项目信息

开始日期： 2011-10-11 13:20:19 采购单位： 北方民族大学
截止日期： 2011-10-14 13:20:19 联系人： 周天琦
送货地点： 宁夏银川市西夏区文昌北路204号 联系电话： ****-*******
到货时间：

采购结果公告后 50 天内 联系邮件： sportsandlive@163.com
剩余时间： 2天21小时
备注信息： 1.中标单位免费送货上门，且安装调试！ 2.设备质保期为设备安装调试完毕，采购人验收合格后一年。 3.采购人将留取中标总金额10%作为设备质保金，质保金将在质保期满后支付给中标单位。
资质要求： 国内正规从事教学、科研实验仪器设备银川本地代理商或在本地有销售服务网点的外地代理商参与，该公司须具有成熟的适合于教学及科研的实验设备。销售代理企业投标需上传设备生产厂家销售代理资质。并且在银川当地设有售后服务机构。
需求附件： 没有附件

采购商品列表

商品分类 参考品牌 规格型号 单位 数量 基本描述
实验室设备 中科院微电子研究所 等离子增强化学气相淀积（PECVD） HQ-8A 套 1


北方民族大学化学气相沉积（PECVD）设备采购项目
GDC-****************1
商品名称： 实验室设备
参考品牌： 中科院微电子研究所 等离子增强化学气相淀积（PECVD）
参考模型： HQ-8A
商品产地： 中国
数量： 1
单位： 套
服务： 1.免费运输到采购人指定地点，负责安装调试，并负责对采购方使用人员进行现场培训，保证采购单位使用人能熟练掌握设备操作！ 2.设备生产厂家提供免费质保期不得少于一年。 3.对于因产品质量引起的问题，在一年的质量保证期内， 厂家应提供设备免费保修。保修期后如出现问题，依然会通过电话、EMAIL、现场服务等多种方式来帮助用户解决问题，优惠收费。 4.设备交货期为：合同签订后的4个月内。
备注： 等离子增强化学气相淀积（PECVD）设备是一种用于在基片上生成高质量SiNx和SiO2薄膜的专用设备。淀积温度范围宽( 100～450oC可调 ) ，特别适用于半导体器件和集成电路的钝化，用以提高器件和集成电路可靠性。该机采用PLC实现工艺程序自动控制，带有射频电源自动匹配、触摸屏操作。技术指标: 1、PECVD淀积膜种类：二氧化硅，氮化硅，非晶硅等。 2、均匀性误差：≤ ± 5％ ( 4英寸内 ) 3、载片台为ф180mm。可做4英寸片，兼容3英寸，2英寸及小碎片。 4、工作温度： 100～450℃。控温精度：≤ ±1℃ 5、采用西门子PLC工艺程序自动化和触摸屏操作，操作简单、重复性好。 6、射频电源500W，带自动匹配。