设备名称

Die bond贴片机

1. 设备名称及数量

Die bond设备

2. 设备用途和总体功能要求

Die bond 设备主要用于在8inch wafer上完成道康宁胶涂布，保护玻璃贴附在8inch硅片的指定位置。

3. 技术规格和要求：

备注：“*”表示设备规格的必要条件，必须达到该规格。

3.1功能：

完成在8inch wafer上道康宁胶涂布及将保护玻璃贴附在wafer的固定位置。

3.2 通用规格

设备型号：

3.2.1* wafer尺寸：8inch,厚度0.7mm.

*产品承载平台高度：TBD，平台材质:陶瓷或金属 吸附方式：全面吸附，吸附压力-30~-100kpa,压力可调,平台平整度±10um。

3.2.2*完成贴片工艺后需要进行预固化处理,预固化温度可调范围在30-150°C，温差控制在±2°C以内。预固化方式可采用承载平台内置加热板或者贴片后平移到平台或炉子中进行预固化,平台温差范围在±1以内。平台升温速度5-10°C /S(越快越好）。

3.2.2*节拍时间/die：≤5秒/pcs

wafer载入方式：自动从wafer卡匣中取片或手动放片

wafer载出方式：手动取片或自动放入卡匣中（备注：自动载出wafer机构应为robot或移栽机构）

wafer贴片方式：兼容边涂胶边贴合以及完成涂胶后贴合

3.2.3*保护玻璃承载方式：Tray 盘或在铁环+蓝膜/UV膜上产品对位方式：8inch硅片放置在平台后需要CCD对位（对位Mark厂商可选择notch或硅片上的Mark点,Mark图形为方形或圆形（φ100um）,净空区φ500um，对位精度≤±10um.

玻璃小片尺寸方形5*5mm~13*13mm，产品厚度0.5~0.7mm.玻璃小片取放需CCD进行校正对位，对位精度≤±10um。

拾取工具快速智能，拾取压力可编辑，拾取力 15~500g,吸嘴的材质应保证不会污染玻璃表面。拾取工具可进行360度旋转取片、贴片。

3.2.4*胶水涂覆图形可以是X型，米字型，Z字型，或以印章形式，涂胶位置采用CCD定位，涂胶速度可调，50mm/s~250mm/s点胶位置误差±20um。

点胶方式：压力阀

3.2.5*贴片位置精度:XY方向贴片位置精度≤±25um，角度偏差≤±1°，CCD对位贴片位置，CCD对位时间≤10s.

3.2.6*贴合压力：贴合压力可调10~500g力精度≥0.5g,贴合稳压时间可调，0~20S，且设备应具有贴合压力校准系统。贴合后胶水厚度≤35um,溢胶宽度≤240um。

胶水材质：道康宁胶（硅胶）型号sylgard184,粘度3500mpa.s,固化条件35min/100℃，适用温度范围-45℃~+200℃。产品密度1.03g/cm3,硬度48（A）,延伸率85%，导热率0.18.

3.3*设备应具有排气系统，使胶水挥发气体可以排出至室外

设备内部parts应采用不发尘、防尘设计，设备内部洁净等级应满足万级。

设备应自带静电消除系统，例如静电消除器，品牌为基恩士。

设备取保护玻璃盖板时吸着pad材质为丁腈橡胶或硅橡胶或Vespel。

3.4*设备应自带FFU高效空气过滤器，FFU可达到百级，同时具有有机排管道口。 4.0售后服务

4.1设备保修期从设备验收签字起整机保修 12个月

4.2保修期内设备非人为原因损坏厂商须负责免费维修

4.3保修期内叫修时限12小时到厂（不可抗力除外）

4.4现场工程师要求有不少于 3 年的相关工作经验

设备免费保修期满之后，在设备使用寿命期内，卖方应保证提供广泛而优惠的技术支持及备件供应

5.0本套贴片机设备应具有recipe的制作编辑、工艺参数制作的编辑、工艺状态的显示、Alarm界面；

主控显示器必须为触摸屏；

主控显示器面板必须有紧急停止按钮；

显示屏上需要包含工艺参数。包括功率、压力、温度、气体流量、时间；

主控制器硬件参数：

微处理器≥2.5G，随机处理器≥2.5G

监视器：液晶显示

输入设备：键盘、触摸面板、鼠标

操作系统：Windows10；

硬盘须适用 7200rpm 转速以上，支持热插拔；

操作界面：英文和中文界面可相互切换
Recipe 数量： 0~99

Recipe 制作和编辑：

登录前须确认账户和密码

须保存 recipe 编辑内容记录

支持 recipe 复制功能

报警：控制面板须能显示警告信息且设备须能出蜂鸣声，设备停止运行。

软件升级和改造：

保修期内所有软件修正免费；

保修期外由 Bug 引起的软件升级免费。

6.0安全规格：

互锁功能

门/外罩开关、安全插头、异常检知传感器等设有互锁功能。
紧急停止开关（按钮及排布形状按照厂商标准）。暂停开关：当按下暂停开关机械动作停止动作，并且报警；当暂停开关被释放时原机械动作回复；

安全插头拔下时或者门开关、外罩开关 off（操作时 on），执行紧急停止操作。

安全对策：

1.当装置运行时，为防止操作员的错误操作而装有 inter lock。

2.冷却水压力、冷却水流量、空气压力等发生异常时、发出警告。

设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构。异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容。

警告标签：

在所有危险位置标记；

使用中文和英语；

（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等）。

技术培训及服务要求：

1、设备move in后卖方对买方人员进行技术培训培训次数不少于3次，每次不少于2H，培训次数可根据买方实际需求进行增加。

2、设备最终验收应以买方规格书为最终依据；

3、随设备提供设备的操作说明手册、维护手册和服务手册(可电子版)；

4、设备厂商应给出设备使用主要的品牌List；

供应商类型：分销商(Distributor)□；制造商(Manufacturer)□; 两者都是(Both)□；

公司名称/简称(Name ofCompany /Brief Name)：

地址(Address)：

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

交货地点方式 币种支付条款

(Delivery Place)(Currency) (Payment Terms)

银行信息

(Bank Information)

银行名称

(Bank Name)

银行地址

(Bank Address)

账号

(Account)

会计号码

(Swift code)

收款单位名称

(Payee )

发票信息

(Invoice Information)

发票类型□16%增值税发票(VAT)□6%增值税发票(VAT)

(Type of Invoice)□4%增值税发票(VAT) □普通发票(General)

税号

(Tax Account)

业务联系人(Contact Person)

业务联系人英文名称：(English Name of Contact Person)

性别(Gender)

电话(Tel)

财务联系人

(Fin Person)

性别

(Gender)

传真

(Fax)

1、上述内容签字盖章才有效；No effect without your signature and stamp.

2、其真实性有法律效应；All the information has legality.