微波等离子烧结机采购项目招标公告
我校拟采购一套微波等离子烧结机，即日起向省内外有资质从业单位公开招标，欢迎前来报名、领取标书。有关事项说明如下：

1、参与报名单位须具有独立法人资格，且专业生产或经营该类货物和服务的企业（单位）。

2、报名所需资料：

（1） 法人委托书或单位介绍信，被委托人身份证原件（复印件留存）；

（2） 企业营业执照原件（复印件留存）；

（3） 企业资质证书原件（复印件留存）；

（4） 企业相关业绩表。

3、 报名和购买标书时间：2011年11月10日 9：00-16：00。

4、 报名地点：南京信息工程大学行政楼503设备管理科

5、 联系电话：***-********，联系人：黄老师

6、电子邮件：sbk@nuist.edu.cn

7、通信地址：南京市浦口区宁六路219号1004信箱 邮政编码：210044

附件：主要技术参数

实验室与设备管理处

2011年11月3日

主要技术要求如下：（数量1整套）

一、用途：用于中低温下特种微纳米材料和传感功能膜的合成、沉积，烧结及预处理。

二、系统基本组成：

微波源、等离子谐振，沉积室，微波抗流门、控制与检测系统、电控器、保温壳体与保温材料、微波工作腔体、工作转盘、机架、警示装置、真空系统、气体流量控制系统等。

三、微波烧结机主要技术指标：

1、微波频率：2450MHz

2、输入功率：5kw 三相 AC 380V

3、微波功率：0～3kw线性可调

4、微波传输系统组成：微波管、激励腔、调配器、点火器、磁场线圈、工作台

5、微波电源组成：控制系统、功率取样、调节模块、功率稳定板

6、工作气压：1~10000Pa，分辨率10Pa

7、谐振腔尺寸：200*200*300mm 制造材料：铝合金

8、沉积室尺寸：Φ350*500mm 制造材料：不锈钢

9、等离子放电直径：Φ30mm 制造材料：陶瓷

10、观察窗尺寸：Φ60

12、真空控制范围1~10000Pa

13、电磁场强度：0.0875T 可调

14、工作台负偏压：1000V 可调

15、工作台加热温度：>600℃ 可调

16、冷却形式：微波管、放电管、变压器、放电腔水冷+风冷。

17、气体流量控制，通过质量流量计进行控制并检测气体流量（3路）
微波泄漏量：< 1 mW/cm2