排气集中处理系统国际招标公告(1)
排气集中处理系统国际招标公告(1)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | Local Scrubber排气集中处理系统(WET设备用) | 6台 | 用于12英寸集成电路生产企业的Local Scrubber排气集中处理系统(WET设备用),满足28nm或28nm以下产品量产及研发需求。 |
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