上海大学公开邀请招标购置 “多源IGZO沉积系统”的公告
招标编号：SDSB-11082

根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器
设备招、投标管理办法》，上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室因教学、科研
发展需要，现公开邀请招标采购多源IGZO沉积系统。
一、设备需求
1. 设备名称：多源IGZO沉积系统 。
2. 技术要求：
多源IGZO沉积系统为双腔体高真空系统，其中一室是薄膜沉积腔，用于沉积IGZO等化合物薄膜，各种金属薄膜，可以进行共溅射，也可以制作单层膜/多层膜。另一室是离子刻蚀腔，用于刻蚀Si、SiO2、Si3N4 、Al2O3、TiO2等材料，兼有去胶功能，可实现部分金属的浅刻蚀。
2.1 薄膜沉积腔的技术指标
*2.1.1、极限真空：9.0×10-5 Pa，腔室气体泄漏速率小于7×10-5Pa/秒，工作气压可调，并具有稳定气压功能。
2.1.2、溅射室：溅射室尺寸约为φ450×H350mm，需配有观察窗和内置光源，便于观察。溅射室内壁需有衬板，便于清洗。
2.1.3、溅射材料：IGZO膜、介质膜、各种金属膜、合金膜、掺杂膜等。
2.1.4、溅射靶：共三个靶位，共有φ80mm 磁控溅射靶三只，其中一个靶位既可以做直流溅射也可以做高频溅射。靶头旋转的角度由步进电机控制以保证每次实验的高度相同，有很好的重复性以保证实验的质量。每个靶头均采用独立供气，可使镀膜的效果更佳。每个靶都有独立的电动挡板，以减小靶与靶之间的污染。
*2.1.5、溅射形式：三靶溅射，三个靶材配有独立的射频电源，可实现三靶共溅射，其中一个靶位既可以做直流溅射也可以做高频溅射。也可以实现三单层膜溅射，复合膜溅射，多层膜交替溅射等。
2.1.6、基片台旋转：可自由旋转，也可以实现在靶材正上方处来回转动，转速可调。
2.1.7、样品加热：样品衬底可加热，加热体无挥发加热最高温度500℃，可自动控温，测温，控温误差小于5℃。
*2.1.8、基片台：基片尺寸：2片30×40mm基片，每片可在真空下更换4种掩膜且掩膜板与基片间的间隙小于0.1mm，或者1片100×100mm基片。基片架可升降0-50mm，升降高度由步进电机控制以保证每次实验的高度相同，有很好的重复性以保证实验的质量。
2.1.9、控制方式：有全自动触摸屏和手动控制两种模式。
*2.1.10、溅射不均匀性：≤±5%。
*2.1.11、电源：3台射频电源：频率 13.56MHz，功率500W，带自动调谐匹配器，及恒功率输出。1台直流电源：1000W 并有恒功率输出功能。
2.1.12、样品台有负偏压装置：样品台上设计有负偏压装置，切换射频电源，可在镀膜前进行等离子清洗基片/镀膜时提高膜的附着力。
2.1.13、工作气路系统：工作气由6个质量流量计控制进气，每个靶头都有独立的供气系统。进入真空室的气体先透过混气罐，然后再进入溅射真空室，这样可以使进入溅射真空室的气体混合均匀，有效提高了镀膜质量。
2.1.14、水冷系统：采用水流继电器控制，信号反馈给控制系统，和靶、泵形成互锁，避免因温度过高对设备造成的损害。附循环水冷机，确保达到预期的水冷效果。
2.1.15、报警及保护：对泵、靶、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施，真空阀门、真空泵、水路和气路之间有逻辑互锁和保护功能。

2.2 离子刻蚀腔的技术指标
2.2.1、真空腔室：腔室尺寸约为Ф300mm×H150mm，需有观察窗和内置光源，便于观察。刻蚀腔内壁需有衬板，便于清洗。
*2.2.2、极限真空度：优于9.0×10-5 Pa，腔室气体泄漏速率小于7×10-5Pa/秒。工作气压可调，并具有稳定气压功能。
2.2.3、恢复真空抽气时间：从大气抽至5×10-3Pa≤15min。
2.2.4、刻蚀材料：主要有SiO2、Si3N4、Al2O3、Ta2O5、TiO2、Mo、Al、Poly-Si、Si、GaN、GaAs，等。
*2.2.5、刻蚀速率：0.1～1um/min。
*2.2.6、刻蚀不均匀性：≤±5%。
2.2.7、射频电源：频率 13.56MHz，功率500W。
2.2.8、控制方式：有全自动触摸屏和手动控制两种模式。
*2.2.9、电极尺寸：尺寸Φ200mm。
2.2.10、五路环路进气，独立的质量流量控制器，主要为CF4、SF6、O2等。
2.2.11、水冷系统：采用水流继电器控制，信号反馈给控制系统和泵形成互锁，避免因温度过高对设备造成的损害。附循环水冷机，确保达到预期的水冷效果。
2.2.12、设有安全保护及报警系统，阀门之间具有互锁功能。
3. 主机、附件详细清单
3. 1 薄膜沉积腔
3.1.1、真空溅射室，室盖升降系统、机架机柜 一套
3.1.2、真空抽气系统
3.1.2.1抽速600升/秒分子泵 (中科科仪KYKY或等同于)。 一台
3.1.2.2抽速8升/秒直联旋片式真空泵 (日本真空ULVAC或等同于)一台
3.1.2.3超高真空气动插板阀 一台
3.1.2.4电磁隔断阀 2个
3.1.3、电源
3.1.3.1500W射频电源及匹配器 三套
3.1.3.2DC1000W直流电源 一台
3.1.3.3直流电源手动切换系统 一套
3.1.4、磁控靶
φ80mm 磁控溅射靶 三只
3.1.5、气路系统
3.1.5.1质量流量控制器 六台
3.1.5.2气路(含管路、阀门) 六条
3.1.6、真空测量
复合真空计 一台
3.1.7、旋转工件盘及自转系统 一套
3.1.8、加热及测温系统(日本OMRON的E5CZ数字式温度控制器或等同于)一套，
3.1.9、磁控靶挡板系统 一套
3.1.10、水冷管道 一套
3.1.11、充气系统 一套
3.1.12、布气系统 一套
3.1.13、备件 一套
3.1.14、小型工具 一套
3.1.15、水冷循环机 一台
3. 2 离子刻蚀腔
3.2.1、真空刻蚀室、室盖升降系统、机架机柜 一套
3.2.2、抽速600升/秒分子泵 (中科科仪KYKY或等同于) 一台
3.2.3、抽速8升/秒直联旋片式真空泵 (日本真空ULVAC或等同于) 一台
3.2.4、超高真空手动插板阀 一台
3.2.5、 500W射频电源及匹配器 一套
3.2.6、质量流量控制器控制五路进气，气路五条。 五台
3.2.7、复合真空计 一台
3.2.8、电气控制系统 一套
3.2.9、水冷管道 一套
3.2.10、水冷循环机 一台

4. 易损、易耗件清单和价格表
请投标人提供所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表，并承诺在质保期后3年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件。

二. 投标方资质要求：
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、在中华人民共和国境内注册的独立法人且注册资金在人民币100万元（含100万元）以上。
3、投标方须有完善的质量管理体系及详细说明（如果有的话）。
三、设备报价
1.报价单位应根据设备需求的规定进行报价，其报价在采购过程中是不可以改变的（除非买方对设备提出新的要求）。
2.报价单位对设备需求中所列的设备进行报价。报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价。
3.进行报价的设备必须同时附设备图样，主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料。
4.报价以人民币报价。
四、交货时间
中标厂商须在合同签约之日起90天内保质保量交付所有设备和附件。
五、验收方式：
设备到货后，由卖方、买方共同开箱验货；卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符。卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试，在系统整体调试完成后，买方认为合格后，签订系统安装验收报告。卖方应在设备到货前一个月，对仪器实验室场地条件,如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书。验收一般应在二周之内完成，超过视作延期交货。延期多少天，相应地质保期延长延期天数的三倍（双方另有约定除外）。
六、付款方式：
设备到后付90%，验收合格后付10%。
七、质量保证与售后服务
1.质保期为自用户签署最终验收报告之日起24个月，在质保期间出现故障，供货商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供货方负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2.货物到达学校后7天内由卖方负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供货方自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供货方公司专职技术人员，不得派出学生或供货方用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3.卖方根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。投标方提供详细的中文操作、维护指南。
4.定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
八、供货方式：
中标单位与上海大学按招标文件规定签订购货合同，国产设备卖方根据买方提供的使用单位名称、地址以及设备品种、数量和时间等，按时送货到指定实验室，并根据使用单位的要求调试合格，送货等费用应包含在报价中。
九、投标人须知
1.投标方应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
2.投标方应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我处不接受不确定报价。
3.投标方应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
4.投标报价中标明的价格或在议标后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非招标方对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
5. 投标方应在投标文件中注明投标货物的交货期，交货期超过招标方可接受时间范围的投标将视为非响应性投标。
6. 带“*”的技术要求（参数）必须满足，否则不与中标。若投标人少于二家，则中标人的投标价不做最终价。若中标人的投标价超出本次的设备经费预算，发标人有取消本次招标采购的权利。质保期的年限要求必须满足，否则以废标论处。
7. 投标方如对技术要求有质疑，须在开标日前三天以书面报告给招标人，招标人可作修改，也可不作修改。如作修改，招标人将以公告形式在网上公示。
十、投标书内容及要求
投标单位提供加盖公章的投标书正本一份，副本三份。（投标方应将投标文件正本和副本分别用信封密封，并标明招标编号、投标货物名称、投标单位名称及正本或副本。如果投标文件通过邮寄递交，投标方应将投标文件用内、外两层信封密封。并在外层标明招标编号、投标货物名称、投标单位名称）投标书应包含以下内容：

1.投标书（见附件1）、投标一览表（见附件2、3）、投标分项明细表（见附件4、5）、偏离表（见附件6、7），投标设备样本资料。
2.投标方资质文件、资格证明（法人代表授权书（见附件8）、营业执照复印件、税务登记证明复印件、原生产厂商授权书正本及复印件等）。
3.质量、服务保证承诺书、备品备件、易损、易耗件清单和价格表等。
（注：具体附件下载详见网页：http://cms.shu.edu.cn/Default.aspx?tabid=11969）
十一、投标截止时间，开标时间、地点
1.投标单位请在2011年11月29日下午14：20前将标书送达上海大学招投标科
（地址：上海市延长路149号北大楼105室，邮编200072）
2.开标时间：2011年11月29日14：30
3.开标地址：上海市延长路149号北大楼会议室
开标当场核验参加开标会议的投标人授权代表的授权委托书和有
效身份证，确认授权代表的有效性，法定代表人出席开标会的要
出示其有效证件。
十二、评审费
中标供应商需支付专家评审费1400.00元
十三、评审结果通知
组织专家评审小组进行评审，评标委员会对投标文件的评审分为：符合性检查、商务评议、技术评议和价格评议。评审结果在上海大学网站上公示(上海大学主页→实验设备处→招投标→中标通知)
注：本招标书的内容与要求的解释权归上海大学招投标科
联系地址：上海市延长路149号北大楼105室
邮编： 200072
联系人： 曹 兰 电话：***-********
徐春生 电话：***-********
技术要求联系人：李俊，张志林
电话：151*****230，133*****121

上海大学招投标科