采购人(盖章)

晋城市光机电产业研究院

采购项目所属项目名称

锑化物激光器芯片设备采购项目

采购项目名称及金额

锑化物激光器芯片设备采购项目;4875万元

项目组织单位

晋城市光机电产业研究院

项目使用单位

晋城市光机电产业研究院

申请

理由

□1.中国境内无法获取：□2.无法以合理的商业条件获取：R3.其他。

论证专家

基本情况

姓名

性别

职称

从事

专业

工作单位

联系电话

马杰

男

教授

物电

山西大学

136*****518

张天才

男

教授

光电子

山西大学

135*****064

薛晨阳

男

教授

物理电子学

中北大学

139*****600

张明江

男

教授

光学

太原理工大学

130*****718

袁淑芳

女

正高级

工程师

计量

技术

山西省计量科学研究院

130*****541

刘志刚

男

律师

法律

山西弘毅律师事务所

130*****606

张阳阳

女

律师

法律

山西弘毅律师事务所

151*****831

拟采购采购进口产品基本情况、申请理由

锑化物激光器芯片设备工艺线的技术指标、可靠性、稳定性对中试产品的质量、性能及良品率均有至关重要的影响。目前国内设备可靠性和指标不稳定，不能满足锑化物芯片设备需求。所采购设备清单列出的仪器设备在精度、均匀性、生产效率、测试分辨率、稳定性、可靠性等诸多方面国产设备存在较大差距，无法满足相关要求。重点考虑2英寸、4英寸设备兼容性，突出锑化物半导体工艺特种专用的工艺需求。

锑化物激光器芯片项目针对大功率、高精度、高可靠性要求，需保证核心指标达到设计的工艺要求。通过对比国内外相关设备的指标情况，目前提出的采购设备，国产的性能无法完全满足要求，因此采购进口产品是必须的。

专家论证情况及意见

张天才：

建议完全考虑项目的长远规划，设备与未来长远发展目标的有效衔接，目标合理进一步明确，项目设备清单整体合理。

薛晨阳：

国产设备不能满足本项目锑化物激光器中试量产的需求，建议购买国外量产设备。

袁淑芳：

自动光刻系统等进口设备性能稳定，指标属实，使用中能达到给出指标，但申请理由不充分没有给出具体优于国产指标的指标，建议明确细化。

马杰：

锑化物激光器芯片设备针对锑化物外延光电芯片的研制和生产的需求，由于核心指标瞄准国内领先水平，对相关系列设备的关键指标，包括精度、分辨率和可靠性，国内产品暂时无法满足研发和生产要求，故同意购买进口产品。

张明江：

国内产品无法满足相关要求，建议采购国外质量更高、性能可靠的进口产品。

刘志刚：

该产品不属于国家禁止和限制进口产品，经论证签署的政府采购进口产品程序合法，可以采购该产品。

张阳阳：

经审查，相关程序符合政府采购法律法规，应遵照相关法律法规采购所列进口仪器。

其他事项

无

拟采购进口产品清单

序号

采购品目

数量

单价(万元)

总价(万元)

备注

1

自动光刻系统

1

450

450

匀胶机

1

30

30

2

等离子清洗机

1

150

150

3

ICP刻蚀机

1

450

450

等离子体镀膜机

1

250

250

RIE刻蚀机

1

250

250

4

粘片机

1

100

100

晶片精密抛光机

1

200

200

晶片非接触测试仪

1

30

30

5

划片机

1

250

250

6

真空焊接机

1

120

120

7

烧结机

1

150

150

8

半自动打线机

1

40

40

9

光纤耦合封装

2

30

60

10

光学显微镜

2

35

70

11

台阶仪

1

70

70

12

红外椭偏仪

1

250

250

13

分光光度计

1

120

120

14

光学质量测试仪

1

11

11

15

光谱测试仪

1

150

150

16

扫描电子显微镜

1

350

350

17

反应磁控溅射镀膜机

1

465

465

热蒸发镀膜机

1

50

50

磁控溅射设备

1

165

165

磁控溅射设备

1

162

162

18

快速热退火设备

1

60

60

19

推拉力/剪切力测试仪

1

80

80