西安交通大学机械学院PECVD等离子增强化学气相沉积系统招标公告

公告日期：2011年12月1日

项目名称：西安交通大学机械学院PECVD等离子增强化学气相沉积系统

招标编号: 西交实招（2011）S217号

招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室

西安交通大学根据国家招投标法律法规和学校管理要求, 拟以招标方式采购下列货物。

一、招标采购项目内容及数量：PECVD等离子增强化学气相沉积系统1台

（一）设备采购目的与用途：

先进制造技术平台微纳研究方向，主要进行MEMS技术，微米纳米器件，微型传感器技术等方面的研究，需要沉积微纳米尺度的功能性薄膜，以适应微纳器件功能性的需求。PECVD广泛应用于氧化物、氮氧化物、氮化物和无定形硅的沉积，实现低应力的微纳尺度薄膜，是微纳研究方向的科研，教学等方面的必需设备之一。设备主要用于氧化硅、氮化硅、无定形硅等功能薄膜的制备。

(二)性能指标与参数

1．工作条件:

(1) 电源：220V/50Hz

(2) 环境温度：23±2°C

(3) 环境相对湿度 ≤60%

(4) 磁场：≤5mGauss

(5) 仪器运行的持久性：可连续运行

2．技术规格

(1) 工艺室要求

a) 尺寸：可实现在8英寸—12英寸基片上的薄膜沉积；

b)沉积温度：可控制温度不低于400度，控制精度不低于1度；具有外部的加热/制冷循环温度控制器，用于控制反应室温度；

c) 工艺气体：不少于8路工艺气体通路及相应的气体质量流量控制器；

(2) 真空系统

a) Ebara 或相当品牌的罗茨干泵组，抽速不低于70立方英尺/分；

b)系统基础真空：< 5 × 10-4 Torr, 漏气率 < 5 mT/min;

c) 在泵入口处具有工艺气体过滤器，避免沉积物进入泵体内；在泵的排放口具有雾气收集器；

(3) RF 控制系统

a) 具有功率为0—600W可调，频率不低于13.5MHz的高频电源;

b)具有频率不高于200 KHz的低频电源;

3．配置要求

(1) 主机系统一套，

(2) PECVD控制系统一套

(3) 其它必备备品备件一套

二、投标人的必备资格要求：

（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；

（二）投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；

（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。

三、投标报名或资格预审必须提供的文件：

（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；

（二）生产商针对本项目产品授权书原件和1份复印件；

（三）工商营业执照副本原件和1份复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）；

（四）《税务登记证》、《中华人民共和国组织机构代码证》原件和各1份复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。

四、报名时间：2011年12月1日至2011年12月9日

五、报名地点：西安交通大学政府采购办公室

地址：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼1405室

联系人：曾午铃　

联系电话：***-************************

电子邮箱：zengwl＠mail.xjtu.edu.cn

传真：***-********

邮编：710049　

欢迎符合条件的供应商参加投标。

注：

l投标人须对其所提供资料的真实性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学及其附属单位的采购活动。

l报名公司将由学校组织有关人员选拔投标公司，没有被选拔参与投标的报名公司，恕不另行通知。

西安交通大学采购与招标管理办公室