哈尔滨工业大学紫外光刻机采购项目（GDC-****************1）网上竞价公告

公告日期： 2011-12-13 10:17:30
项目名称： 哈尔滨工业大学紫外光刻机采购项目
项目编号： GDC-****************1
中央国家机关政府采购中心受采购单位 哈尔滨工业大学 委托,
对下列货物及服务进行网上电子政府采购,现邀请合格投标人进行网上投标。

采购项目信息

开始日期： 2011-12-13 10:17:30 采购单位： 哈尔滨工业大学
截止日期： 2011-12-16 10:17:30 联系人： 王老师
送货地点： 哈尔滨市南岗区西大直街92号 联系电话： ****-********
到货时间：

采购结果公告后 50 天内 联系邮件： stt-@hit.edu.cn
剩余时间： 2天20小时
备注信息： *
资质要求： *
供应商在竞价时，须根据资质要求中的内容以附件形式上传相关资质证明。
需求附件： 没有附件

采购商品列表

商品分类 参考品牌 规格型号 单位 数量 基本描述
实验室设备 IOE URE-2000/35 台 1


哈尔滨工业大学紫外光刻机采购项目
GDC-****************1
商品名称： 实验室设备
参考品牌： IOE
参考模型： URE-2000/35
商品产地： 中国
数量： 1
单位： 台
服务： *
备注： 1.设备主要技术指标： （1）曝光面积：100mm×100mm；（2）照明不均匀性：±3-4%（ f100mm范围）；（3）分辨力：≤1.0mm（胶厚1.5mm的正胶，365nm波长）；（4）对准精度：±0.8μm；（5）掩模尺寸：2.5~5英寸；（6）样片尺寸：直径f15mm－－ f100mm,厚度0.1mm－－6mm；（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q:±6°；（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm（9）汞灯功率：350W（直流）；（10）曝光波长: 365nm（11）曝光强度：≥15mW/cm2； 2．设备配置（1） 曝光均匀照明系统包括: 冷光椭球镜；350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)；XYZ汞灯调节台；光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜、反射镜；(2) 对准工件台系统包括：掩模样片整体运动台；掩模样片相对运动台；转动台；样片调平机构,三点自动完成；样片调焦机构，电机自动调；承片台4个：?15mm、 ?40mm 、?60mm 、 ?100mm； 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；掩模抽拉式上下机构。(3) 对准显微镜系统包括： 光源、 电源； 双目双视场对准显微镜主体； 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）；物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）；CCD对准系统； 22寸宽屏液晶显示器。(4) 电控系统(5) 气动系统 3. 其他附件配置包括：真空泵一台(无油泵)；空压机一台（静音泵）；配套接口管道；二、匀胶机一台：主要性能:双转速，两档转速及匀胶时间分别连续节 (Ⅰ档调速范围：500-2500转/分；Ⅱ档调速范围：1000-8000转/分)。转速稳定度：±1%,胶的均匀性：±3%；适用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶。 三、烘胶台（加热板）一台，控温方式：位式控温；温度稳定度：±5℃；控温范围：室温—400℃；连续工作时间：>48小时； 加热区域尺寸：φ140mm 四、其它材料：1.光刻胶；2.基片；3.显影器皿；通风橱