线宽测量仪招标公告
加 入 日 期： 2011-11-21
招 标 编 号： 0730-1140GD026605/01
所 属 行 业： 仪器仪表
截 止 日 期： 2011-12-12
招 标 机 构： 中航技国际经贸发展有限公司
地 区： 福建省
项目名称：线宽测量仪
日期：2011年11月21日
招标编号：0730-1140GD026605/01
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
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7.3.3 基板厚度兼容性:t=0.3~0.7mm±10% t
7.3.13 节拍时间:
CD 20点 + OL 20点:≤200sec
CD 20点≤150sec

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7.3.2 最大的载重：3吨
7.3.7 天花板(高效过滤网)–伸缩式起重机吊钩中心距离: ≤1450mm

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7.3.1 整个系统包括2台投入清洗机，铝（AL）湿刻机1套，氧化铟锡（ITO）湿刻机3套.
7.3.2 设备Pass line: 投入清洗机：1500mm。
湿刻机: 下部1500~1700mm，上部≤3000mm

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7.3.2 设备Pass line: 下部1500~1700mm，上部≤3000mm
7.3.3 卖方确保成膜前清洗机和HF清洗机为直线双层结构

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7.3.1.1 Array:1500mm * 1300mm * (厚度：0.3mm~0.5mm)；
7.3.1.2 G5.5彩色滤光片: 1500mm * 1300mm * (厚度：0.3mm~0.5mm)；
G5彩色滤光片: 1300mm * 1100mm * (厚度：0.3mm~0.5mm)；

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7.3.1 对应的玻璃基板规格为：
1300mm(宽) x 1500mm(长) x 0.3mm~0.7mm（厚度）
7.3.2.1 摩擦设备采用台面水平移动设计；

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7.3.2.1 基板尺寸：1300mm×1500mm
7.3.2.2 玻璃基板厚度: 0.3~0.7 mm

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7.3.5.2.7 在沟道中n+ a-Si刻蚀后剩余的a-Si层的厚度
7.3.5.2.8 玻璃基板上SiOx/SiNx的每一层的厚度

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7.3.1 整个系统包括光阻剥离机8台
7.3.2 设备Pass line: 下部：1500~1700mm ，上部：≤3000mm

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7.1.1 系统及主要组成部分由原产地设计制造，禁止转包，除非得到买方的书面同意。
7.3.2 CF基板尺寸兼容性:
1300mm×1500mm t=0.3~0.7mm±10% t、1.1mm±10% t
1100mm×1300mm t=0.3~0.7mm±10% t、1.1mm±10% t

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7.3.3 基板厚度兼容性:t=0.3~0.7mm±10% t
7.3.8 具有图形比对与识别功能

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7.3.2 基板尺寸：1100mm×1300mm ;1300mm×1500mm
7.3.10 3台Pre ITO Cleaner及2台 Post ITO Cleaner设备长度需一致
≦13000mm

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7.3.4 6台显影机长度需一致≦20000mm
7.4.3 基板搬送方式：入口：传送滚轮， 出口：传送滚轮

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7.3.4 生产节拍:≤30秒
7.3.5 传送台基板交换高度（Pass line）:1500mm

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7.3.3.1 设备可以测量TN,IPS/FFS,VA，ECB模式的液晶盒样品；
7.3.3.2 设备可以测量透射型、反射型或半反半透型液晶盒样品；

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7.3.2 移载对象：LCD 卡匣
7.3.4 卡匣重量:
G5.5: 290kg（含玻璃）

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7.3.2 移载对象：LCD 卡匣
7.3.4 G5.5: 290kg（含玻璃）
G4.5: 100kg（含玻璃）

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7.16 招标不限于主要规格参数，还必须满足图纸和规格说明书。
7.17.1.1 ACQC (Auto Connect Quick Coupler)

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7.1 合同里涉及到的设计，制造,设备都必须具备ISO 9000，SEMI-S2 或 CE 或其他相关国际标准。
7.4.2.2 本包特气种类:
SiH4、NH3、NF3、N2O、C2HF5（CHF3或C4F8）、PH3、1%PH3/H2、SF6、Cl2、CO2、BCL3、CF4、Xe、BF3、Ar/O2、4.5%HCL/0.9%H2/94.6%Ne、100ppmH2/Ne供应系统及PH2分配系统
2、招标文件售价：01-RMB 1500.00 or USD 230.00 02-RMB 4000.00 or USD 610.00 03-RMB 5000.00 or USD 760.00 04-RMB 5000.00 or USD 760.00 05-RMB 3000.00 or USD 460.00 06-RMB 5000.00 or USD 760.00 07-RMB 2000.00 or USD 310.00 08-RMB 2000.00 or USD 310.00 09-RMB 5000.00 or USD 760.00 10-RMB 5000.00 or USD 760.00 11-RMB 3000.00 or USD 460.00 12-RMB 5000.00 or USD 760.00 13-RMB 5000.00 or USD 760.00 14-RMB 5000.00 or USD 760.00 15-RMB 2000.00 or USD 760.00 16-RMB 5000.00 or USD 760.00 17-RMB 5000.00 or USD 760.00 18-RMB 5000.00 or USD 760.00 19-RMB 5000.00 or USD 760.00
3、购买招标文件时间：从即日起至开标时间止 每日9时至16时（节假日除外）
4、购买招标文件地点：中国北京市朝阳区慧忠路５号远大中心Ｂ座14层
5、投标截止时间和开标时间：2011-12-12 10:00
6、开标地点：上海天马微电子有限公司
地 址：上海市浦东新区汇庆路889号
邮编：200201
电子邮箱：ytx@aited.cn
电话： 0086-10-********，0086-0-138*****701
传真：0086-10-********，0086-10-********
联系人：杨彤欣 先生
开户银行（人民币）：招行亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐 号（人民币）：***************
帐 号（美　元）：********094014 SWIFT CODE：BKCHCNBJ