CVD废气处理设备、IMP废气处理设备招标公告
CVD废气处理设备、IMP废气处理设备招标公告
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | CVD废气处理设备、IMP废气处理设备 | 2台 | (1)CVD废气处理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域,燃烧式废气处理设备用于处理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等气体。(2)处理特气时的天然气流量,(由MFC控制):≤55 Slm;(3)出口温度:≤100°C。 | ****-********0019/22 |
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