真空干法蚀刻设备招标公告
加 入 日 期： 2011-10-18
招 标 编 号： 0618-1140TC11478J/10
所 属 行 业： 电子通信
截 止 日 期： 2011-11-07
招 标 机 构： 中招国际招标有限公司
地 区： 江苏省
项目名称：第十包：真空干法蚀刻设备采购项目
日期：2011年10月18日
招标编号：0618-1140TC11478J/10
中招国际招标有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
第二包：品目1：酸碱清洗化学台（1） 4台
抗酸碱侵蚀
品目2：酸碱清洗化学台（2） 4台
抗酸碱侵蚀
品目3：有机清洗台 4台
抗酸碱侵蚀
品目4：高温蚀刻自动化学台（1） 4台
摄氏250-300度
品目5：高温蚀刻自动化学台（2） 4台
<+/- 5%
第三包：光刻机 12台
>100片/小时 (对图曝光3sec), 2吋
第四包：通用真空镀膜机 8台
二氧化硅/二氧化钛
第六包：匀胶显影机（1） 18台
<摄氏1.5度@摄氏150度
第七包：匀胶显影机（2） 18台
<摄氏1.5度@摄氏150度
第十包：真空干法蚀刻设备 4台
＞1.0（光阻）
第十一包：等离子增强化学气相沉积系统 4套
二氧化硅
第十二包：品目1：蒸镀系统 8套
＜10奥姆
品目2：SiO2蒸镀系统 8套
>180片/锅 (2吋)
品目3：等离子去胶系统 8套
去胶速率≥100纳米/分钟
品目4：金属蒸镀系统 8套
摄氏100度（舱体实际温度）
第十三包：化镀金设备 4台
加热精度±1℃

2、招标文件售价：本招标文件每套售价为 1500元人民币或 260 美元(国内邮购须另加50元人民币，国外邮购须另加30美元。标书售后不退。)
3、购买招标文件时间：即日起至投标截止时间止，每天9:00-11:30,13:30-16:00(节假日除外,北京时间)
4、购买招标文件地点：中招国际招标有限公司（北京市海淀区皂君庙14号院9号楼）
5、投标截止时间和开标时间：2011-11-07 09:30
6、开标地点：中招国际招标有限公司
地 址：中招国际招标有限公司（北京市海淀区皂君庙14号院9号楼）
邮编：100081
电子邮箱：hz8812@126.com
电话： ***-******** ***-********
传真：***-********
联系人：杨嵬
开户银行（人民币）：中国工商银行北京海淀支行营业部
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐 号（人民币）：****************296
帐 号（美　元）：A/C No.****************4 SWIFT CODE:BKCHCNBJ