各公司、厂商：

上海理工大学材料科学与工程学院实验室建设和学科发展的需要，拟采购阀门气体分配输送控制箱一台，现在网上公开招标信息，欢迎各单位、厂商参与投标。
一、技术指标和要求
1.设备包含进口隔膜阀，耐腐蚀调压阀控制气体压力，耐腐蚀流量计控制气体流量，单向阀防止气体回流，过滤器保证气体洁净度，侦测器保证气体泄漏的实时检测。所有阀门及原件必须集成在一个柜体内部，柜体大小必须适合实验室的空间。方便操作
2. 采用国外最新配件及控制器，融合国外最新焊接设备及焊接技术，采用国际S2,S8标准，设计，研发制造出一台高性能，高安全性，高稳定性，高兼容性的流量配比输送控制设备。
3.最终设备实现流量实时监控，压力实时监控，最终H2,N2与NH3的混合气通过缓冲罐输送入CVD设备内部。
4. 所有配件，流量计，阀组，控制元器件，安全保障检测装置，均采用国外进口产品，在确保安全的首要条件下进行产品的设计、制作。
5．用PLC实时控制，设备各设定参数：如流量，压力，温度，设备传动时间等均能稳定得由用户自行设定及控制。
6. NH3系统管道均采用国外全自动焊接设备及技术进行。针对氨气的特殊性对管道采取伴热带辅热，确保系统的稳定性。
7.涉及的压力，流量传输装置必须提供有效的安装资质及效验，维修能力。
8 设备总体体积不能过大，能够放在试验室地面运行。适合实验室使用情况
9. 如果用户有其他相关新的应用，供货商应该全力配合提出新工艺来满足新应用
10. 供应商在国内有丰富经验，在国内有大量科研院校的客户
二、系统设计要求

1. 在以确保人员安全为首要条件的情况下，此气体分配输送系统需实现人机交互（认为设定需要的压力，流量），实时检测（在线检测NH3是否泄漏），在线分析，全自动操作。
2. 严格遵循国际S2标准，系统必须确保安全无泄漏，若不慎出现以外情况时，监控系统必须在1秒内切断所有气动阀门的运行
3. 严格控制环境及设备内部的氨气含量及可能出现的危险类气体含量，监控灵敏度必须达到10PPB，另外当空气中NH3含量过高时能根据所设定的值进行切断。
4. 所有设备的材料及辅材必须使用防爆类产品，产品必须符合国家的防爆标准。
5. 压力计、流量计、温度的控制必须实时联动，波动控制在1%的偏差之内，不允许有较大的偏差，设定值一旦被设定之后系统即可安全，稳定，效率得运行

三、技术参数
1、满量程
A路：100CCM，接口：1/4”VCR
B路：100CCM，接口：1/4”VCR
C路：50CM，接口：1/4”VCR
2、最大输入压力：150Psi
3、最大压差：45PSI
4、控制范围：2%~100% 满量程
5、控制精度：1%满量程
6、零漂：<0.08% of Rdg./℃
7、热机时间：<2min
8、工作温度：0℃~50℃
9、控制方式：模拟控制
10:、控制通道：4通道带远程
11、氨气切换装置：自动切换，自动吹扫，自动排气
12、氦气泄漏率：<1*10-8
13、保压时间：24H

三、 实施、保障与服务
1.提出全面、完整的总体技术方案（包括系统各项软件功能，建议硬件规格配置理由和整个系统性能指标）
2.承诺一年的免费服务期限，并在期间内，为学校免费提供各种技术服务，包括在线答疑、定期回访、软硬件更新、适应性整改、少量增量性整改及技术培训
3．文档要求：按照系统建设的进度，递交相应的系统文档，要求文档规范齐全

四、其他
技术负责人：王老师，联系电话：138*****157
招标截止时间： 2012年3月16上午10:00（标书一式二份封存并注明招标号）
标书请寄：上海理工大学公共服务中心102室设备科（军工路516号，邮编200093）
联系电话（传真）：********
联系人：缪老师

上海理工大学设备招标领导小组
2012年3月9日