西安电子科技大学-竞价公告(CB107012020000119)
西安电子科技大学-竞价公告(CB107012020000119)
申购单号:CB***************
申购主题:高性能电学测试探针台
采购单位:西安电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:480000.0
签约时间:
送货时间:
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:西安电子****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高性能电学测试探针台 | 1.0 | 台480000.0 |
| 品牌 | Cascade | ||
| 型号 | Summit12000手动 | ||
| 规格参数 | 1.要求探针台能与业界主流半导体参数测试仪无缝连接，完成8英寸及以下尺寸的半导体晶圆或器件等电学特性参数测试。2.测试载物台Chuck：泄漏电流≤0.1pA，工作电压不低于500V；3.载物台XY轴移动行程≥203mm×203mm，精度≤5μm；4.Z轴行程≥5mm,精度≤5μm；5.载物台Theta角调节范围：≥±5°，精度≤±5μm；6.配置双目体式显微镜,放大倍数不小于100倍；7.配置微暗室，要求具有光屏蔽、噪声屏蔽、电磁屏蔽功能；8.配置4套高精度低噪声探针座、探针臂、探针，要求漏电精度优于0.1pA级别。 | ||
| 质保及售后服务 | 所有配件均为原厂产品；提供软件培训和硬件使用培训；同型号产品在西安地区销售不低于3套；质保期：验收合格后，免费质保三年；西安本地有售后服务点。 | ||
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