哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就光刻机项目进行公开招标。欢迎具有此项供货能力、资信良好的供应商前来投标。

一、项目名称：光刻机

二、设备产地：国外

三、招标方式：公开招标

四、招标编号：HITZB-759

五、采购数量：1

六、主要技术指标：

6英寸光源系统，光强均匀性BeamUniformity: <±1%over2”区域；<±2%over4”区域；<±3%over6”区域

曝光光源功率＞350W，365 nm光强输出强度＞18mW/ cm2；400 nm光强输出强度＞30 mW/ cm2

NUV近紫外系统：接触式样曝光特征尺寸CD：0.5um

接近式曝光特征尺寸CD：小于1um（20um间距时）

正面对准精度：好于±1um

显微系统90-600倍数连续放大

支持正胶、负胶及Su8胶等的厚胶光刻，特征尺寸：100um-300um

支持真空、接近式、接触式曝光。

分辨率要求：真空接触（硬接触）：≤ 0.6μm；接近式：（20um间距）：≤ 1μm

支持恒定光强或恒定功率模式

系统具有自动找平功能，自动找平功能可通过一键完成

七、投标商准入资格

（1）具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件；本次招标如出现一个投标人的二个授权代表来参加本次投标，则该投标人的投标资格将被当场取消,本次招标不接受联合体投标，前来投标的单位需要提供上一年度经会计师事务所审计的审计报告。

（2具备中国政府采购法第二十二条的条件。

（3）本次招标公告截止日期为2012年5月11日中午11点整,有意参与投标的供应商请将投标申请表及营业执照复印件快递（或送达）予我们，以便于有效安排开标事宜。

(4)如果报名情况符合开标条件，标书将在报名截止后以电子邮件的形式发送到您的邮箱，敬请自行查询邮箱并仔细阅读标书，哈工大招标办不再另行通知，如有疑问可致电或到访招标办，请在规定时间交纳标书款、投标保证金（标书款收取后一概不退）获取投标资格。

（5）请于开标前一天（节假日顺延）下午2：00-4：00到指定地点（哈尔滨市南岗区西大直街92号，哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室）购买标书，开标前交投标保证金，未按照要求购买标书的供应商不能取得投标资格。（如有疑问可致电或到访招标办）

八、报名办法

招标人：哈尔滨工业大学

招标人地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号，哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室

招标联系人：张立 联系电话（自动传真）：0451－********

技术联系人： 杭春进 联系方式：****-********

邮政编码：150001

哈尔滨工业大学

招标采购办公室

2012年4月19日