根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对纳米图形发生系统进行单一来源招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：纳米图形发生系统

项目编号：HZ********

项目联系方式：

项目联系人：李老师

项目联系电话：********

采购单位联系方式：

采购单位：华中科技大学

采购单位地址：湖北省武汉市洪山区华中科技大学大学生活动中心A205室

采购单位联系方式：********，hustcgzx@hust.edu.cn

一、拟采购的货物或者服务的说明:

随着Si材料电力电子器件逐渐接近其理论极限值，利用宽禁带半导体材料制造的电力电子器件显示出比Si和GaAs更优异的特性，给电力电子产业的发展带来了新的生机。相对于Si材料，使用宽禁带半导体材料（以氮化镓和碳化硅为代表）制造新一代的电力电子器件，可以变得更小、更快、更可靠和更高效。这将减少电力电子元件的质量、体积以及生命周期成本，允许设备在更高的温度、电压和频率下工作，使得电子电子器件使用更少的能量却可以实现更高的性能，是世界各国半导体研究领域的热点。 已建成的微纳加工平台目前拥有400 m2工艺实验室面积，现可以开展光刻辅助的匀胶、喷胶、烘胶、显影、腐蚀、高温扩散氧化退火、原子层沉积等工艺；工艺测试区主要有扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜、高低温探针台、半导体特性参数测试仪、大功率手动探针台、功率器件分析仪等。因此，为了充分和现有平台的条件进行结合，在制备半导体器件过程中还缺少最核心也是最重要的设备：纳米图形发生系统。该设备的购置将极大地提高现有微纳平台对的效率和科研的进度，为电力电子器件的研究提供保障。该设备的购置将为众多学科领域特别是半导体、光学、材料、物理等领域的用户研究提供支持。

二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:

纳米图形发生系统是加工纳米结构器件的必备手段，该设备的购置将极大地提高现有微纳平台对的效率和科研的进度，为电力电子器件的研究提供保障，为众多学科领域特别是半导体、光学、材料、物理等领域的用户研究提供支持。

根据实验室科研的必须要求，拟购置的设备必须同时满足高分辨率（亚10nm）、高精度套刻、大小写场灵活调节、低电压加工能力、高分辨成像能力等技术指标。经调研，市面上仅德国RAITH GmbH 公司的eLINE PLUS纳米图形发生设备性能充分符合技术需求。该项采购符合《中华人民共和国政府采购法》第三十一条第一款“只能从唯一供应商处采购的”的情形。

三、开标时间：

四、拟定的唯一供应商名称及其地址：

建发（武汉）有限公司

五、其它补充事宜

六、预算金额

预算金额：560.0 万元（人民币）