PECVD氢化系统（GY202001173）采购公告
PECVD氢化系统（GY202001173）采购公告
| 项目名称 | PECVD氢化系统 | 项目编号 | GY********3 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 158*****48000 | 公告截止日期 | 158*****00000 |
| 采购单位 | 山东大学 | 付款方式 | 国产设备与家具：货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后5天 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | 420000.0 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| PECVD 氢化系统 | 1 | 套 | 其他特种设备 |
| 品牌 | 待定 |
|---|---|
| 型号 | 未公开 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 420000.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1.最高温度：1200℃；2.加热区长度：420mm；3.恒温区：280mm；4.加热元件：加热丝；5.温区：双温区；6.预加热区长度：300mm；7.预加热恒温区长度：160mm；8.滑动方式：手动滑动；9.温度控制：程序控温系统：50 段程序控温；精度：0.1 级；10.控制精度: ≤±1℃；11.炉管最高工作温度: ≥1200℃；12.气路法兰：密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装；13.气体控制方式：质量流量计；14.气路数量: 4 路；15.流量范围:氢气、氧气参考范围: 0~100 sccm；甲烷参考范围: 0~200 sccm ；氮气参考范围: 0~500 sccm（根据用户要求做气体标定）；16.精度：±1%F.S；17.响应时间: 1sec；18.工作温度: 5-450℃；19.工作压力: 进气压力 0.05-0.3Mpa(表压力）；20.系统连接方式: 采用 KF 快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪；21.规格：真空系统；22.真空计: 进口真空计；23.真空计量程: 5 x 10-5 (3.8 x 10-5) （毫巴）；24.进口真空泵: 双极机械泵抽速 ≥12m3h-1/7.1(50Hz),极限压力 2 x 10-3 mbar/1.5 x 10-3 Torr噪音级别 50 Hz 时 48 dB(A)、额定电压 220V；25.信号频率: 13.56MHz±005%；26.功率输出范围: 5W-500W；27.最大反射功率: 200W；28.射频输出接口: 50Ω；29.功率稳定度: ≤±0.1%；30.谐波分量:≤-50dbc；31.供电电压:单相交流（187V-253V)频率 50/60HZ；32.整机功率: ≥70%；33.屏幕显示: 正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值；34.2年内使用的全部专用配套零配件一整套；35.2年内使用的全部专用耗材一整套；36.本套设备为非标定制设备，在需要响应的时候，出具一套完整的方案；37.为了保证产品的质量和售后服务，需提供厂家授权、质保函和相关国家认定资质。 |
| 售后服务 | 服务网点:无要求;质保期限:2年;响应时限:报修后8小时;供货时间要求:成交后5天内; |
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