[竞争性谈判]长春工业大学长春工业大学专业设备3
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项目名称:长春工业大学科研仪器3
采购需求中设备技术要求进行如下调整:
第31项货物 名称:光伏组件制备系统数量:1套
原技术参数要求:
功能、配置和主要技术要求:
功能:光伏电池制备
主要技术要求:
1.真空腔室:净空间尺寸不小于Φ295×H445mm,前门开度尺寸不小于295×445mm,前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm,配一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质;
2.真空系统:主泵分子泵抽速不小于551L/s,双级旋片泵抽速不小于6L/s,主泵需采用国产或进口知名品牌,全量程数显复合真空计量程:1×105~1×10-5Pa;投标文件需要注明分子泵、双级旋片泵品牌;
3.真空极限:10-8Torr(优于3.0×10-5Pa);抽速:抽至2×10-6Torr≤15min,抽至10-7Torr≤2h;
4.基片台:根据客户要求定制的基片台和掩膜板,最大可处理基片不小于4英寸,基片台配有气动挡板,磁力密封,随设备提供一块掩膜板;基片台旋转且水冷:旋转速度0-25转/分连续可调,磁力密封;
5.蒸发源:不少于3组蒸发源,可拓展至四组蒸发源,源间配隔离挡板,源上至少2源有独立挡板;
6.蒸发电源:不少于1台蒸发电源,蒸发电源功率不小于2.2KW,电流可调精度不大于0.1安培;如需要电源切换蒸发源,需要通过电控实现,不能采用插拔重新接线的方式;
7.速率和膜厚监控:采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率,监控膜厚;厚度监测范围:1?~9999?,分辨率±1?;速率监测范围:0.1?~99.9?/s,分辨率±0.1?;配置不少于1个探头,10片6MHz原装晶振片;
8.操控系统:采用PLC手自动控制,触摸屏操作,PLC采用西门子、三菱或者同等知名品牌,一键抽真空;
9.水冷系统:水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等,整机配水流报警保护系统;配高精度冷却循环水机1台,控温范围:5~25℃,控温精度±0.1℃;
10.其它:配齐该镀膜设备的外围设备:冷却循环水机1台,静音气泵1台,所需试验蒸镀材料;保证设备就位后即能开展工作;镀膜设备及外围设备(冷水机,空压机等)总占地面积不超过1平米;
11.该包设备的核心产品为高真空电阻蒸发镀膜设备,核心产品整机免费保修期不少于2年,核心产品需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件,原件放入正本,复印件放入副本。
12.要求提供全新设备,分子泵,机械泵,真空计,膜厚监控仪等出厂日期不能超过出厂日期三个月;交货期:合同签订后1周内。
13.手套箱要求: 304 不锈钢的箱体,长1800mm,宽750mm,高900mm,厚度3mm,左后侧留有镀膜机接口;1 个304 不锈钢的大过渡仓,直径360mm,长度600mm右侧;1 个304 不锈钢的小过渡仓,直径150mm,长度300mm右侧;水氧指标:小于1ppm;泄露率:小于0.001vol%/h;
货物配置要求:
1.热蒸发系统1套。
2.手套箱1套。
技术标准:国家标准
质量保证期:1年
现调整为:
货物 名称:光伏组件制备系统 数量:1套
功能、配置和主要技术要求:
功能:光伏电池制备
主要技术要求:
1.真空腔室:净空间尺寸不小于Φ295×H445mm,前门开度尺寸不小于295×445mm,前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm,配一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质;
2.真空系统:主泵分子泵抽速不小于551L/s,双级旋片泵抽速不小于6L/s,主泵需采用国产或进口知名品牌,全量程数显复合真空计量程:1×105~1×10-5Pa;投标文件需要注明分子泵、双级旋片泵品牌;
3.真空极限:10-8Torr(优于3.0×10-5Pa);抽速:抽至2×10-6Torr≤15min,抽至10-7Torr≤2h;
4.基片台:根据客户要求定制的基片台和掩膜板,最大可处理基片不小于4英寸,基片台配有气动挡板,磁力密封,随设备提供一块掩膜板;基片台旋转且水冷:旋转速度0-25转/分连续可调,磁力密封;
5.蒸发源:不少于3组蒸发源,可拓展至四组蒸发源,源间配隔离挡板,源上至少2源有独立挡板;
6.蒸发电源:不少于1台蒸发电源,蒸发电源功率不小于2.2KW,电流可调精度不大于0.1安培;如需要电源切换蒸发源,需要通过电控实现,不能采用插拔重新接线的方式;
7.速率和膜厚监控:采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率,监控膜厚;厚度监测范围:1?~9999?,分辨率±1?;速率监测范围:0.1?~99.9?/s,分辨率±0.1?;配置不少于1个探头,10片6MHz原装晶振片;
8.操控系统:采用PLC手自动控制,触摸屏操作,PLC采用西门子、三菱或者同等知名品牌,一键抽真空;
9.水冷系统:水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等,整机配水流报警保护系统;配高精度冷却循环水机1台,控温范围:5~25℃,控温精度±0.1℃;
10.其它:配齐该镀膜设备的外围设备:冷却循环水机1台,静音气泵1台,所需试验蒸镀材料;保证设备就位后即能开展工作;镀膜设备及外围设备(冷水机,空压机等)总占地面积不超过1平米;
12.该包设备的核心产品为高真空电阻蒸发镀膜设备,核心产品整机免费保修期不少于2年,核心产品需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件,原件放入正本,复印件放入副本。
13.要求提供全新设备,分子泵,机械泵,真空计,膜厚监控仪等出厂日期不能超过出厂日期三个月;交货期:合同签订后1周内。
14.手套箱要求:
1. 主要参数:
*水氧指标:小于1 ppm;
*泄露率:小于0.001vol%/h;为保证核心指标的真实性,投标时需提供第三方检测机构的检测报告,加盖厂家公章。
2.技术指标:
1)手套箱箱体
*箱体:内部尺寸:长度:1800mm深度:750mm;高度: 900mm材料:304不锈钢
前窗: 倾斜的视窗,透明钢化安全玻璃,厚度8 mm
*手套口:材料为铝合金,原色氧化,螺母在外面,O型圈密封
手套: 丁基橡胶, 厚度0.4mm ,直径 8”,长度32”
过滤器 : 规格 0.3 微米,1个气体入口和1个气体出口
搁物架: 不锈钢材料,内置3层,可调节。
箱体照明:LED灯,安装在每块玻璃窗前上方
管路:全部采用不锈钢
接口:备用接口3个,DN 40 KF,需要增加接口,可另外注明,电源接口1 个 (220V)
2) 大过渡舱:*尺寸:直径360mm,长度600mm 材料:304不锈钢
滑动托盘:304不锈钢
舱门:双门,阳极氧化铝材料,厚度 10mm,竖直操作,带提升机构
压力表:模拟显示
控制:电磁阀触摸屏自动操作
3)小过渡舱:尺寸直径150mm,长度300mm,进入手套箱部分长度100 mm
材料:304不锈钢
舱门:双门,翻盖式
4)气体净化循环系统:
*净化柱
功能:气体密闭,除水、除氧
容器材料:304不锈钢
净化材料:铜触媒:5 kg分子筛:5 kg
净化能力:除氧:60L除水:2Kg
水氧指标:小于1ppm
*循环系统
工作气体:氮气、氩气
*循环能力:集成风机流量90m3/h,加装变频
再生
操作:PLC自动控制再生过程
再生气体:工作气体与氢气混合气体,(氢气5-10%)
阀门
主阀:DN 40 KF ,电气动角阀
控制阀:电磁集成阀
*管路:全部采用不锈钢
5)控制系统:
功能:包括自诊断、断电自启动特性,具有压力控制和自适应功能;自动控制、循环控制、密码保护;单元控制采用PLC触摸屏。
压力控制: 控制箱体、过渡舱的压力,箱体工作压力+/- 10mbar内可以自由设定,超出+/- 12mbar系统自动保护;
脚踏板: 控制箱体压力,方便操作升压和降压
6)显示系统:采用PLC 触摸屏,显示运行状态,箱体压力、系统记录等
7)真空系统控制情况
真空泵,可手动或通过PLC启动,流量8m3/h ,可对过渡舱抽真空,并保持箱体压力平衡,真空泵极限真空度≤2x10-1pa
8) 其他配件
*水分析仪:测量范围:0~500ppm采用P2O5传感器,应用范围广,尤其对于锂电制造及金属有机等用户,可以进行清洗并重复使用,避免了一次污染即报废的问题。为保证核心指标的真实性,投标时需提供第三方检测机构的检测报告,加盖厂家公章。
*氧分析仪:测量范围: 0~1000ppm采用ZrO2传感器,避免了燃料电池寿命短,不能暴露在空气中的问题。为保证核心指标的真实性,投标时需提供第三方检测机构的检测报告,加盖厂家公章。
*为保证设备质量,投标时需提供质量认证,UL,CE证书并加盖厂家公章。
*为保证售后,投标时需提供厂家承诺本设备保修期三年的承诺书原件(加盖厂家公章)。
货物配置要求:
1.热蒸发系统1套。
2.手套箱1套。
技术标准:国家标准
质量保证期:1年
其他设备不变。
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