昆明物理研究所电感耦合等离子化学气相沉积设备采购项目中标候选人公示
昆明物理研究所电感耦合等离子化学气相沉积设备采购项目中标候选人公示
项目名称：昆明物理研究所电感耦合等离子化学气相沉积设备采购项目
招标项目编号：****-********1015
招标范围：货物名称： 电感耦合等离子化学气相沉积设备。 数量：1台。 简要技术规格：电感耦合等离子化学气相沉积设备主要由以下几部分组成：反应腔室、进样室、下电极、电感耦合等离子体ICP源（上电极）、射频电源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。该设备通过电感耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在化合物半导体衬底上沉积氧化硅（SiO2）、氮化硅（SiNx）介质薄膜。 备注：具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。
招标机构：云南招标股份有限公司
招标人：昆明物理研究所
开标时间：2020-07-03 09:30
公示开始时间：2020-07-09 10:51
评标公示截止时间：2020-07-13 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 嘉华科技香港有限公司 | SENTECH Instruments GmbH | 德国 |
| 2 | 纳云电子有限公司 | Plasma-Therm | 美国 |
| 3 | 艾瑞科电子香港有限公司 | FHR Anlagenbau GmBH | 德国 |
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