品牌

宇杰真空

型号

YCS-550

生产厂商

沈阳宇杰真空设备有限公司

产地信息

辽宁省沈阳市

技术规格及参数

一、主要配件技术指标
（一）参数指标：
主溅射室：
1.1 极限真空度：≤1.0x10-8 Pa (经烘烤除气后)；
1.2 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
1.3 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，35分钟可达到6.6x10-4 Pa；
1.4 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
进样室：
1.1 极限真空度：≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后)；
1.2 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
1.3 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，35分钟可达到6.6x10-4 Pa；
1.4 停泵关机12小时后真空度：≤10Pa；
（二）配件组成
1、溅射真空室组件：1套
1.1 圆筒型真空室尺寸Ф500mm x450mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
1.2 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口;
2、磁控溅射靶组件：3套
2.1 靶材尺寸：3英寸；
2.2 永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷（三个可以溅射磁性材料）；第三代紧凑型设计圆形阴极，阴极内部集成进气系统；
2.3 在靶基距为6-7cm的150mm基片上均匀性为小于3%
2.4 控制挡板组件：1套；
2.5 三个靶角度可调，可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。
3、基片加热公自转台组件：1套
3.1 六工位样品台，五个常温，一个加热，最高温度700°C。自动控制样品位置，样品Ф60。
3.2 基片加热最高温度700°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3 可自动控制自转及镀膜过程；
3.4 基片可以加负偏压:0~200V；
3.5 控制基片CF16挡板组件：1套；
4、窗口及法兰接口部件：1套
4.1 100玻璃窗口：1块；63玻璃窗口：1块；
4.2 CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；
4.3 盲法兰CF16：1个；CF35：3个
5、工作气路：1套
5.1 4路100SCCM、100SCCM、50SCCM、50SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、进气截止阀、混气室、管路、接头等：共3路。
5.2 充气阀，管路、接头等：1路；
6、抽气机组及阀门、管道：1套
6.1 复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速620升/秒，）；压缩比：N2: 103, H2: 6 x103. 额定转速27000 rpm。
6.2 直联机械泵：1台（抽速8升/秒，）；
6.3 电磁压差阀：1台
6.4 分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；
6.5 机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套 ；
6.6 闸板阀：2台（用于分子泵与真空室隔离）（另一台为离子泵与真空室隔离）；
6.7 闸板阀：1台（用于溅射室与进样室隔离）
6.8 离子泵，1台；1x10-3Pa时寿命不小于50000小时
7、安装机台架组件：1套
7.1 优质型材拼接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；
8、真空测量及电控系统：1套
8.1 电源机柜：（含供电电源，有断电保护功能）；
8.2 控制电源：1台（为机械泵、电磁阀、等提供电源）；
8.3 水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警、延时切断相应电源功能）；
8.4 样品加热控温电源：1套（控温表，可实现程序控温、可切换）；
8.5 自转电机控制电源：1套；
8.6 靶挡板电源：3套；
8.7 加热烘烤及照明电源：1套；
8.8 宽量程数显真空计：1套；测量范围：1.0x105Pa～1.0x10-7Pa
8.9 100SCCM、100SCCM、50SCCM、50SCCM质量流量显示器（含流量盒）：1套；准确度 ±1.0%F.S，重复精度±0.2% F.S，漏率不大于1.0x10-8Pa.m3/s
8.10 分子泵控制电源：1套；
8.11 500W射频电源：2套；功率稳定度≤±0.5%；脉冲频率100-10KHz 输出功率0-500W，模拟控制接口DB15，输出接口N/UHF，输出频率13.56MHz，标准2U频率信号，标准正弦波，输入电压AC180-250V，输入电流5A，输出阻抗50欧姆， 承受驻波比不小于3.0，占空比10%-90%
8.12 500W直流电源：2套；在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%
8.13 -200V直流偏压电源：1套；

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商/合格代理商免费质保【壹】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

品牌

宇杰真空

型号

YCS-550

生产厂商

沈阳宇杰真空设备有限公司

产地信息

辽宁省沈阳市

技术规格及参数

9、 石英晶体振荡膜厚监控仪 1套
9.1 监测膜厚显示范围：0~99μ9999A；
9.2 厚度分辨率：1A；
9.3 速率显示分辨率：0~9999.9 A；
9.4 控制精度：1 A；
9.5 监测时间显示范围：1分~99小时；
9.6 采用两路探头测量；
9.7 频率分辨率: ± 0.03HZ@ 10个读数/秒
9.8 温度稳定性不小于2ppm
10、进样室：1套
10.1 圆筒型真空室尺寸Ф300mm x500mm，前开门开盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
10.2 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口
11、控制系统：1套
11.1 触摸显示屏控制系统，制的内容主要有靶挡板、样品公转、样品挡板、样品控温等；磁控溅射室的样品转盘，用计算机控制镀膜：1、样品转盘的复位功能；2、确认靶位功能；3、镀膜时间控制功能；4、样品转盘回转控制功能；5、靶极遮挡功能
12、薄膜工艺要求
12.1 设备出厂前需做如下测试：利用该磁控溅射设备在氧气/氩气比13%时制备氧化钨薄膜, 薄膜密度须在5.5 ±0.5 g cm–3范围内才能符合出场要求。交付时对各项指标进行验收，若不能满足客户实验需求，买方可退货；同时中标方还需要承担因此带来的一切损失和后果。

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商/合格代理商免费质保【壹】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用