单靶磁控溅射仪中标结果
单靶磁控溅射仪中标结果
| 申购单名称： | SG********98001 单靶磁控溅射仪 |
| 申购单类型： | 自行采购 |
| 使用币种： | 人民币 |
申购明细详情 | ||||||||||
| 序号 | 申购名称 | 计量单位 | 品牌 | 型号 | 技术参数 | 采购内容说明 | 供应商名称 | 成交数量 | 单价 | 成交金额 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 单靶磁控溅射仪 | 台 | 超迈 | CJC450 | 真空室尺寸：??视窗不锈钢真空室，Ф200?x200mm?真空系统：??配置涡轮分子泵、机械泵（带防返油过滤器）?极限压力：?≤1.0?x?10-5 Pa? 恢复真空时间：??恢复工作背景真空6×10-4 Pa：35分钟左右（充干燥氮气）? 磁控靶组件：??配置两个直径2英寸溅射靶枪，带独立挡板，共焦溅射，可以溅射小于等于4英寸的工件；有一个靶枪为磁场增强型，可以溅射厚度不小于3mm的Ni靶材；直流电源和射频电源可以自动切换到两个靶枪实现直流和射频溅射；4英寸工件溅射均匀性优于±5%；?溅射重复性优于±3%。? 样品尺寸：???≤4?inches?(约100mm)?运动方式：??0~20RPM? 气路系统：??配置两路进气，采用知名品牌流量计控制（最大流量50sccm）?计算机控制系统：??触摸屏控制系统，可以在触摸屏上实现所有设备操作。 | 用于材料制备 | 成都超迈机械有限公司 | 1 | 295000 | 295000 |
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