昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目（二次）评标结果公示公告(1)
昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目（二次）评标结果公示公告(1)
项目名称：昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目（二次）
招标项目编号：****-********1016
招标范围：货物名称：感应耦合等离子体刻蚀机。数量：1台。简要技术规格：感应耦合等离子体刻蚀机主要由以下部件组成：包括刻蚀腔体、进样室、等离子源、刻蚀终点监测、气路系统、真空系统、冷水机、控制单元等主要部件。该设备用于磷化铟，铟镓砷等化合物半导体材料刻蚀，可以用来刻蚀氧化硅，氮化硅。备注：具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。
招标机构：云南招标股份有限公司
招标人：昆明物理研究所
开标时间：2020-07-23 09:30
公示开始时间：2020-09-01 14:44
评标公示截止时间：2020-09-04 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 诠时科技有限公司 | 0xford Instruments Nanotechnology Tools Limited trading as 0xford Instruments Plasma Technolog | 英国 |
| 2 | 弘捷（香港）電子技術有限公司 | SAMCO Inc | 日本 |
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