原子层沉积设备ALD科民电子TALD-150R（HITJJ-2020000047）成交结果公告

招 标 正 文
 

原子层沉积设备ALD科民电子TALD-150R（HITJJ-2020000047）成交结果公告


项目名称原子层沉积设备ALD 科民电子 TALD-150R项目编号HITJJ-********47
公告开始日期159*****85000公告截止日期159*****00000
采购单位哈尔滨工业大学付款方式无
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求签约后3个工作日内
预 算368000.0
收货地址哈尔滨市南岗区黄河路73号哈工大二校区土木学院
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积设备-科民电子-TALD-150R1台无
品牌科民电子
型号TALD-150R
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算368000.0
技术参数及配置要求一、腔体及样品台1.1 标准6英寸样品台+定制腔体，可放置最大直径150mm，高50mm的样品；1.2 样品加热采用真空内铠装加热盘，样品台能够加热到300℃，温度控制精度±0.5℃；.1.3 腔室配置外加热装置，最高加热温度200℃，温度控制精度为±1℃，1.4 腔室及真空抽气管路的连接采用耐温橡胶圈密封，真空漏率小于5E-7Pa.L/s；；二、前驱体源管路结构及加热控制2.1 标准加热液态前驱体源系统2路，适用于饱和蒸气压较高的液态前驱体源。加热源装置及输运管路的最高加热温度可达到200℃，温度控制精度为±0.5℃，其到反应腔的管路系统配置保温隔热功能；每路加热源均配备1个Swagelok快速高温ALD专用阀门、1个高温手动阀和1个50mL不锈钢源瓶；标准加热液态前驱体源系统最大可升级至4路；2.2 常温液态源1路，配备Swagelok快速ALD阀、手动密封阀和200ml玻璃水源瓶；2.3 前驱体源系统配置独立的惰性气体吹扫管路，采用2条独立的吹扫管路分别从2个独立的进口进入到反应腔室；每路惰性气体吹扫管路配置独立的吹扫流量计和气动截止阀门，惰性气体气体吹扫流量采用进口数字式质量流量计控制，控制精度为±1%；三、真空系统及加热控制3.1 配置高性能真空泵，抽速＞5E-3Torr；3.2 配置数字式压力传感器，检测范围为：1E-5Tor四、控制及软件系统4.1 软件控制系统为PLC+工控机+触摸屏； 4.2 软件系统能对能对沉积参数进行控制，能全自动运行；4.3 操作系统有互锁报警何状态监控；
售后服务无

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/09/09/20KEUPVBA4LYC0AU.shtml

标签: 电子 沉积设备 原子层

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