三温区等离子增强化学气相沉积镀膜设备（JJ2020001357）成交结果公告

招 标 正 文
 

三温区等离子增强化学气相沉积镀膜设备（JJ2020001357）成交结果公告


项目名称三温区等离子增强化学气相沉积镀膜设备项目编号JJ********57
公告开始日期159*****32000公告截止日期159*****00000
采购单位南开大学付款方式70%预付，验收合格支付尾款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求无
预 算无
收货地址南开大学津南校区电光学院
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
三温区等离子增强化学气相沉积镀膜设备1套无
品牌方向
型号PE-CVDⅢ
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求加热炉部分（预热区+双温区）1炉膛模式开启式炉膛，可手动移动2显示模式7英寸触摸屏3极限温度1200℃4工作温度≤1150℃5升温速率建议10℃/Min Max：30℃/Min6加热温区三温区7双温区长度400+400mm，预热区长度200mm8炉管规格60*1550mm9控温精度±1℃10密封方式快速法兰密封11温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设12预存曲线可预存15条温度曲线13超温报警有14过流保护有15断偶提示有16测温元件K型热电偶17炉膛材料氧化铝纤维18外形尺寸800*560*2000MM射频电源1信号频率13.56 MHz±0.005%2功率输出范围5W-500W3功率稳定度±0.1%4谐波分量≤-50dbc5供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ6整机效率>=70%7功率因素>=90%8冷却方式强制风冷真空部分1工作电电压220V±10% 50~60HZ2功率500W3抽气速率6L/s4进气口口径KF255排气口口径KF256转速1450rpm7噪音55dB8极限真空4X10-1Pa气路系统14气路采用D07-7K系列准确度：±1.5%重复精度：±0.2%响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec工作压差范围：0.1～0.5 MPa整机系统特色1正压测量-100Kpa---100Kpa2真空测量10-1Pa～100Kpa（支持Ar测量）3正压保护支持4压力恒定支持5智能气路支持6气路定时支持7射频工作时间设定支持8系统真空度4.8×10-1Pa
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;按国家法定或行业要求提供售后服务。;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/09/10/20KEWI6MVQ8VO194.shtml

标签: 镀膜设备 化学气相沉积 等离子

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