氮化镓深刻工艺感应耦合等离子干法刻蚀机中标公告
氮化镓深刻工艺感应耦合等离子干法刻蚀机中标公告
项目名称:LED产业化项目外延、芯片工艺设备采购
项目编号:****-********0060/03
第3包：氮化镓深刻工艺感应耦合等离子干法刻蚀机 1台
招标机构:中技国际招标公司
业主:陕西新光源科技有限责任公司
开标时间:2012-08-06 14:30:00.0
评标结果公示状态:无质疑
推荐中标商:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
制造商:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
制造商国家及地区:中国
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