等离子清洗机(JJ2020001971)成交结果公告

等离子清洗机(JJ2020001971)成交结果公告


项目名称等离子清洗机项目编号JJ********71
公告开始日期160*****13000公告截止日期160*****00000
采购单位南开大学付款方式货到后7个工作日内付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求
预 算
收货地址南开大学津南校区信息东楼132
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
等离子清洗机1
品牌HF-KEJING
型号PCE-500W
品牌2
型号
品牌3
型号
预算
技术参数及配置要求主要参数? 射频功率:0-500W? 总功率:1.5KW? 电源:AC220V 50/60Hz射频电源? 射频功率可在0-500W之间调节? 频率:13.56MHz注:可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机等离子腔体? 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体? 铝制折叠式法兰来进行真空密封? 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口? 此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏控制面板? 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等? 仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量真空泵(选配)? 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵? 极限真空度为50mTorr(参考值,具体请点击) 通入气体? 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)? 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。可选? 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片? 可选购2-4通道质子或浮子混气系统产品尺寸600mm L×600mm W×810mm H
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

信息来源:https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/10/07/20KFZ176TKS4WT8R.shtml

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 清洗机 等离子

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