合肥晶合12吋晶圆制造基地项目等一批机台采购评标结果公示公告(1)
合肥晶合12吋晶圆制造基地项目等一批机台采购评标结果公示公告(1)
项目名称：合肥晶合12吋晶圆制造基地项目等一批机台采购
招标项目编号：****-********3393
招标范围：Arf 涂胶显影机1套I-line涂胶显影机1套常高温测试探针台9套12吋炉管立式低压氮化硅生长快速升降温Mini Batch工艺(LP SiN)生产机台2台12吋炉管立式低压氮化硅生长工艺(LP SiN)生产机台1台12吋炉管立式常压高温退火及二氧化硅层生长工艺(PYRO_A)生产机台1台12英吋晶圆片表面纯水清洗机3套晶圆表面清洗机(Post Clean)1套晶圆表面清洗机(Pre Clean)1套氧化层刻蚀机1套
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：合肥晶合集成电路有限公司
开标时间：2020-10-12 10:00
公示开始时间：2020-10-12 20:31
评标公示截止时间：2020-10-15 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | Tokyo Electron Limited | Tokyo Electron Limited | 日本 |
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